申请/专利权人：君原电子科技(海宁)有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司

申请日：2023-09-09

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220760173U

主分类号：B08B1/12

分类号：B08B1/12;B08B1/20;B08B1/36;B08B3/02;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型公开了一种静电卡盘清洗装置，属于静电卡盘领域，包括板体和圆柱体，板体上设置有流体口，在板体内以及圆柱体内设置有连通的通道，流体口穿入板体与所述通道连通，从板体的板面延伸出来，所述圆柱体的侧壁上设有安装清洗刷，所述圆柱体的侧壁上分布有一条流道，所述流道内都设置有多个孔，且流道内的孔与所述通道连通，所述板体上方设有与所述板体连接的转动装置，所述转动装置设置在支撑板上，所述支撑板上设有伸缩支撑装置。

主权项：1.一种静电卡盘清洗装置，包括板体和圆柱体，板体上设置有流体口，在板体内以及圆柱体内设置有连通的通道，流体口穿入板体与所述通道连通，从板体的板面延伸出来，所述圆柱体的侧壁上设有安装清洗刷，其特征在于，所述圆柱体的侧壁上分布有一条流道，所述流道内都设置有多个孔，且流道内的孔与所述通道连通，所述板体上方设有与所述板体连接的转动装置，所述转动装置设置在支撑板上，所述支撑板上设有伸缩支撑装置。

全文数据：

权利要求：

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