申请/专利权人：杜邦电子公司

申请日：2023-10-20

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117917442A

主分类号：C08F220/18

分类号：C08F220/18;C08F212/14;C08F220/30;G03F7/004

优先权：["20221020 US 17/970,130"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.23#公开

摘要：本申请公开了具有光致产酸剂和光致抗蚀剂的聚合物组合物，其包含：0.5至99mol％的具有式A的羟基苯乙烯重复单元；0.5至99mol％的具有式B的磺化光致产酸剂重复单元；以及0.5至99mol％的具有式C的酸不稳定重复单元，其中：R1、R2和R3各自独立地表示氢原子、烷基、环烷基、卤素原子、氰基或烷氧基羰基；R4表示氢原子、烷基、烷氧基、卤素原子或氰基，m表示在1至4范围内的整数；Q1和Q2各自独立地表示氢原子、氟原子或具有1至4个碳原子的全氟烷基，n表示在0至4范围内的整数；L1表示单键或具有1至20个碳原子的二价饱和烃基；Z+表示有机阳离子；G1表示包含酸不稳定基团的有机基团。

主权项：1.一种聚合物组合物，其包含：0.5至99mol％的具有式A的羟基苯乙烯重复单元： 0.5至99mol％的具有式B的磺化光致产酸剂重复单元： 以及0.5至99mol％的具有式C的酸不稳定重复单元： 其中：R1、R2和R3各自独立地表示氢原子、烷基、环烷基、卤素原子、氰基或烷氧基羰基；R4表示氢原子、烷基、烷氧基、卤素原子或氰基，并且m表示在1至4范围内的整数，其中当m是2或更大时，每个R4独立地表示氢原子、烷基、烷氧基、卤素原子、或氰基；Q1和Q2各自独立地表示氢原子、氟原子或具有1至4个碳原子的全氟烷基，并且n表示在0至4范围内的整数，其中当n是2或更大时，Q1和Q2各自独立地表示氢原子、氟原子或具有1至4个碳原子的全氟烷基；L1表示单键或具有1至20个碳原子的二价饱和烃基，其中所述二价饱和烃基中一个或多个亚甲基被氧、硫、羰基、或磺酰基替代；Z+表示有机阳离子；并且G1表示包含酸不稳定基团的有机基团。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杜邦电子公司 具有光致产酸剂和光致抗蚀剂的聚合物组合物

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD