申请/专利权人：住友化学株式会社

申请日：2016-03-31

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN106019831B

主分类号：G03F7/004

分类号：G03F7/004;G03F7/00

优先权：["20150331 JP 2015-073094"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2018.02.02#实质审查的生效;2016.10.12#公开

摘要：本发明的课题涉及提供可制造形状良好且脱模性优异的抗蚀图案的抗蚀剂组合物的目的。其解决手段为抗蚀剂组合物，其含有具有对酸不稳定基团的树脂、产酸剂、具有2个以上的酚性羟基的化合物其中，不包括树脂和溶剂。例如具有对酸不稳定基团的树脂为含有式a1‑2所示的结构单元的树脂。[式中，Ra1’和Ra2’各自独立地表示氢原子或烃基；Ra3’表示烃基，或者Ra1’表示氢原子或烃基，Ra2’和Ra3’互相键合表示2价烃基，所述烃基所含的亚甲基可替换为氧原子或硫原子；Ra5表示氢原子或甲基；Ra6表示烷基或烷氧基；mx表示0～4的整数]。

主权项：1.抗蚀剂组合物，其含有：具有对酸不稳定基团的树脂、作为式b1～式b3的任意一项所示的化合物的产酸剂、式Ia或式Ib所示的具有2个以上的酚性羟基的化合物、碱溶性树脂、作为式C1或式C2所示的化合物的猝灭剂、附着力促进剂、及溶剂，式Ia或式Ib所示的具有2个以上的酚性羟基的化合物的含量相对于全部树脂的总量的100质量份为1质量份以上8质量份以下，所述具有2个以上的酚性羟基的化合物不包括树脂，所述碱溶性树脂为酚醛清漆树脂，所述具有对酸不稳定基团的树脂是由选自式a1-1所示的结构单元及式a1-2所示的结构单元中的至少1种、和选自式a2-1所示的结构单元、式a2-2所示的结构单元、式a2-3所示的结构单元及式a2-4所示的结构单元中的至少1种构成的树脂，溶剂的含有率相对于抗蚀剂组合物的总量为40质量％以上75质量％以下，所述抗蚀剂组合物用于制造膜厚3～150μm的抗蚀图案，所述抗蚀剂组合物为i线曝光用， 式Ia或式Ib中，A表示碳原子数1～6的亚烷基，该亚烷基所含的亚甲基可替换为氧原子；其中，Xi为氧原子时，与Xi键合的亚甲基不替换为氧原子；i1和i2各自独立地表示0～4的整数；其中，i1与i2合计为2以上；Ri12和Ri13各自独立地表示卤原子或碳原子数1～12的烷基；i3和i4各自独立地表示0～4的整数；i3和i4为2以上时，多个Ri12和Ri13各自独立地可以相同或不同；其中，i1与i3合计为4以下，i2与i4合计为5以下，Ri6表示氢原子或可具有取代基的碳原子数1～12的烷基，Ri8、Ri9、Ri10和Ri11各自独立地表示氢原子或碳原子数1～9的烷基，或者Ri8与Ri9、Ri10与Ri11分别相互键合，形成可具有取代基的碳原子数3～12的饱和环， 式a1-1和式a1-2中，Ra1、Ra2和Ra3各自独立地表示碳原子数1～8的烷基或碳原子数3～20的脂环式烃基，或者Ra1和Ra2相互键合表示碳原子数2～20的2价烃基，Ra3表示碳原子数1～8的烷基或碳原子数3～20的脂环式烃基，Ra1’和Ra2’各自独立地表示氢原子或碳原子数1～12的烃基，Ra3’表示碳原子数1～20的烃基，或Ra1’表示氢原子或碳原子数1～12的烃基，Ra2’和Ra3’相互键合表示碳原子数2～20的2价杂环基，该烃基和该2价杂环基所含的亚甲基可替换为氧原子或硫原子，Ra4和Ra5各自独立地表示氢原子或甲基，Ra6表示碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的烷氧基，m表示0～4的整数，m为2以上时，多个Ra6可彼此相同或不同， 式a2-1、式a2-2和式a2-3中，Ra7、Ra8和Ra9各自独立地表示氢原子或甲基，Ra10表示碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的烷氧基，m’表示0～4的整数，m’为2以上时，多个Ra10可彼此相同或不同，Ra11表示氢原子或碳原子数1～10的伯烃基或仲烃基，Ra12表示碳原子数1～6的伯烷基或仲烷基，La1表示碳原子数2～6的亚烷基，其中，与氧原子键合的碳原子为伯碳原子或仲碳原子，n表示1～30的整数，n为2以上时，多个La1可彼此相同或不同， 式a2-4中，Ra13表示氢原子或甲基，Ra14表示碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的烷氧基，Ra15表示碳原子数1～12的伯烃基或仲烃基，该烃基中所含的亚甲基可替换为氧原子或羰基，其中，与氧原子键合的亚甲基不可被氧原子替代，m”表示0～4的整数，m”为2以上时，多个Ra14可彼此相同或不同，m”'表示0～4的整数，m”'为2以上时，多个Ra15可彼此相同或不同，其中，m”与m”'合计为5以下， 式b1～式b3中，Rb1表示可以具有氟原子的碳原子数1～18的烃基，该烃基中所含的亚甲基可以替换为氧原子或羰基，Rb2’、Rb3和Rb4各自独立地表示氢原子、碳原子数1～8的烷基或烷氧基，环Wb1表示碳原子数6～14的芳香族烃环或碳原子数6～14的芳香族杂环，x表示0～2的整数，x为2时，多个Rb2’可相同或不同， 式C1中，Rc1、Rc2及Rc3各自独立地表示氢原子、碳原子数1～6的烷基、碳原子数5～10的脂环式烃基或碳原子数6～10的芳香族烃基，该烷基及该脂环式烃基中所含的氢原子可被羟基、氨基或碳原子数1～6的烷氧基取代，该芳香族烃基中所含的氢原子可被碳原子数1～6的烷基、碳原子数1～6的烷氧基或碳原子数5～10的脂环式烃取代， 式C2中，环W1表示构成环的原子中含有氮原子的杂环、或具有取代或未取代的氨基的苯环，该杂环及该苯环可以具有选自由羟基和碳原子数1～4的烷基构成的群中的至少一种，A1表示苯基或萘基，nc表示2或3。

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百度查询： 住友化学株式会社 抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法

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