申请/专利权人：安徽工程大学

申请日：2021-05-24

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN113218826B

主分类号：G01N15/0205

分类号：G01N15/0205;G01N15/075;G01N15/1434

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2021.08.24#实质审查的生效;2021.08.06#公开

摘要：本发明揭示了一种粒子计数器传感器的光路系统，系统设有激光器，沿着所述激光器的光路依次设有非球面透镜、微透镜阵列、柱面透镜、矩形孔光阑、光敏区和反射镜，采样气流与光路相交位置为光敏区，所述反射镜为倾斜设置的凹面镜，所述反射镜的焦点位于光路附近的光电转换器件，所述反射镜上光路照射区域为供光路穿过的钻孔。本光路系统能够获得强度更大、更加稳定的电信号，即提高了传感器的信噪比和灵敏度，同时配合矩形光阑的结构极大地降低了传感器的光学本底噪声。

主权项：1.一种粒子计数器传感器的光路系统，系统设有激光器，其特征在于：沿着所述激光器的光路依次设有非球面透镜、微透镜阵列散射片、柱面透镜、矩形孔光阑、光敏区和反射镜，采样气流与光路相交位置为光敏区，所述反射镜为倾斜设置的凹面镜，所述反射镜的焦点位于光路附近的光电转换器件，所述反射镜上光路照射区域为供光路穿过的钻孔；所述非球面透镜、微透镜阵列散射片、柱面透镜、矩形孔光阑和光敏区依据距离激光器发光面的距离为1mm，10mm，15mm，20mm，30mm；所述激光器发出的光源经非球面透镜准直为平行光或准平行光，由单元为矩形的微透镜阵列散射片将光束整形为矩形或接近矩形的光斑，然后由柱面镜压缩并经过矩形孔光阑的矩形孔汇聚于光敏区，所述矩形孔光阑的矩形孔尺寸为2mm*1mm；所述反射镜轴线与光路夹角为30度，所述反射镜上钻孔的尺寸略大于光路尺寸，所述光电转换器件位于矩形孔光阑和反射镜之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽工程大学 一种粒子计数器传感器的光路系统

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