申请/专利权人：中国科学院微电子研究所

申请日：2023-12-01

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117894809A

主分类号：H01L27/146

分类号：H01L27/146

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本申请属于半导体器件技术领域，具体涉及一种像素探测单元、探测器及其制备方法。该像素探测单元包括将硅基探测单元与薄膜晶体管集成在一起以使硅基探测单元的读出端连接薄膜晶体管的栅极以调控薄膜晶体管的开关状态。本申请设计的像素探测单元改善了信号的可靠性、准确性及可测性。在该基础上，还简化了系统设计和制造过程，减少了组件数量和连接电路，增加了器件自身的成品良率。

主权项：1.一种像素探测单元，其特征在于，包含：硅基探测单元：具备读出端；薄膜晶体管：包含栅极；所述读出端连接所述栅极以调控所述薄膜晶体管的开关状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院微电子研究所 像素探测单元、探测器及其制备方法

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