申请/专利权人：深圳市铨兴科技有限公司

申请日：2024-03-15

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117889773A

主分类号：G01B11/16

分类号：G01B11/16

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆翘曲形变测试设备，涉及晶圆翘曲度测试技术领域，现提出如下方案，包括外箱体和安装在外箱体内部的测量机构，所述测量机构包括接触测量组件和光栅测量组件；所述接触测量组件包括门板、接触测量室、第一电机、安装底座、双向螺杆、外套杆、连接横杆、前后滑块，装置在使用过程中，接触测量板通过顶部的滑轮带动在装置的内部前后平移，第二电机带动主动齿轮在装置的内部进行转动，然后主动齿轮同时驱动两个传动齿轮在装置的内部进行转动，然后传动齿轮带动滑轮在装置的内部转动，以此就能够调节接触测量板在装置内部的位置，就可以对安装底座上方的晶圆通过表面接触的方式计算表面的形变，从而计算晶圆的翘曲度值。

主权项：1.一种晶圆翘曲形变测试设备，包括外箱体（1）和安装在外箱体（1）内部的测量机构，其特征在于：所述测量机构包括接触测量组件和光栅测量组件；所述接触测量组件包括门板（2）、接触测量室（3）、第一电机（5）、安装底座（6）、双向螺杆（7）、外套杆（8）、连接横杆（9）、前后滑块（10）、软夹板（11）、L型连杆（12）、边侧滑块（13）、方形板（14）、顶部转轴（15）、内部滑槽（16）、工字钢板（17）、滑轮（18）、传动齿轮（19）、主动齿轮（20）、第二电机（21）和接触测量板（22），所述外箱体（1）的前方安装有两个门板（2），所述外箱体（1）的内部左侧开设有接触测量室（3），所述接触测量室（3）的内部底侧安装有第一电机（5），所述第一电机（5）的输出端安装有安装底座（6），所述安装底座（6）的内部安装有两个相互平行的双向螺杆（7）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市铨兴科技有限公司 一种晶圆翘曲形变测试设备

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