申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司

申请日：2023-10-10

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117888082A

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52;C23C16/44

优先权：["20221013 US 63/415,901"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：公开了配置用于在流化床中从固体源前体颗粒产生气态前体的蒸气输送设备。此外，还公开了包括蒸气输送设备的气相反应器，蒸气输送设备包括固体前体的流化床。还公开了用于监测和控制包括流化床的蒸气输送系统的方法。

主权项：1.一种配置用于将固体源材料转化为气态前体以在气相反应器中使用的蒸气输送设备，该设备包括：包括容器内部的容器；设置在容器内部的流化床区域，流化床区域配置用于容纳多个固体前体颗粒；配置用于加热流化床区域的加热系统；压力感测系统，其被构造和布置成当载气向上流过多个固体前体颗粒以在流化床区域内形成流化床时，通过监测多个固体前体颗粒上的压降ΔP来产生压差信号ΔPs；以及控制系统，其被构造和布置成接收来自压力感测系统的压差信号ΔP,并计算流化床区域内的多个固体前体颗粒的剩余重量W。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASMIP私人控股有限公司 蒸气输送设备和相关的气相反应器及其使用方法

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