申请/专利权人：佛山科学技术学院

申请日：2024-03-14

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117884757A

主分类号：B23K26/00

分类号：B23K26/00;B23K26/70

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种基于飞秒激光的不良芯片修复装置及其方法，该装置包括激光预处理模块、光束整形模块、反射镜模块、可视化加工模块、辅助加工模块、位置同步输出模块和工控机模块。该方法包括：输出矩阵光束；将不良芯片固定于加工台上，将矩阵光束聚焦于不良芯片的表面；通过辅助气管对不良芯片进行吹气处理，设置加工物镜为低倍加工镜以及扫描振镜回零，执行去除不良芯片指令；通过识别监测模块判断不良芯片是否去除；执行焊盘清洗指令，修复完成。本发明能够实现去除芯片和清洗焊盘的综合加工以及对转移过程中产生故障芯片进行修复，提升了加工质量。本发明作为一种基于飞秒激光的不良芯片修复装置及其方法，可广泛应用于芯片修复技术领域。

主权项：1.一种基于飞秒激光的不良芯片修复装置，其特征在于，包括激光预处理模块、光束整形模块、反射镜模块、可视化加工模块、辅助加工模块、位置同步输出模块和工控机模块，沿着所述激光预处理模块的传输光路依次设置所述光束整形模块和所述反射镜模块，沿着所述反射镜模块的反射传输光路依次设置所述可视化加工模块、所述辅助加工模块和所述位置同步输出模块，所述工控机模块分别与所述激光预处理模块、所述可视化加工模块、所述辅助加工模块以及所述位置同步输出模块电性连接，其中：所述激光预处理模块用于发射紫外飞秒激光束并进行光束预处理，输出标准化后的高斯光束；所述光束整形模块用于对所述标准化后的高斯光束进行能量整形处理，输出矩形光束；所述反射镜模块用于改变所述矩形光束的传输光路方向；所述可视化加工模块用于根据所述矩形光束对不良芯片进行聚焦采样，获取不良芯片的图像信息；所述辅助加工模块用于辅助所述可视化加工模块的工作；所述位置同步输出模块用于控制所述矩形光束的输出间距保持恒定；所述工控机模块用于控制所述激光预处理模块、所述可视化加工模块、所述辅助加工模块以及所述位置同步输出模块的工作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佛山科学技术学院 一种基于飞秒激光的不良芯片修复装置及其方法

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