申请/专利权人：无锡芯享信息科技有限公司

申请日：2022-10-08

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117888777A

主分类号：E05B49/00

分类号：E05B49/00;E05B65/52

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明涉及光罩盒智能货柜技术领域，用于解决现有的对光罩盒智能货柜的控制方式中，难以对光罩盒出入库出现的故障进行及时的排查分析，无法实现光罩盒正确、高效的出入库操作的问题，尤其公开了一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，包括货柜控制平台，货柜控制平台的内部设置有服务器，服务器通信连接有数据采集单元、货柜存储状态分析单元、光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元、显示控制终端和显示屏；本发明，分别对光罩盒的入库状态及出库状态进行监测分析，采用数据逐项分析、模型比较分析以及数据信号输出的方式，从不同层面对光罩盒的入库及出库故障进行排查校正分析，从而实现了实现光罩盒高效的出入库操作。

主权项：1.一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，包括货柜控制平台，其特征在于，货柜控制平台的内部设置有服务器，服务器通信连接有：数据采集单元，用于采集光罩盒智能货柜的结构状态信息、光罩盒的放入状态信息以及光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，并将其分别发送至货柜存储状态分析单元、光罩盒入库控制单元和光罩盒出库控制单元；货柜存储状态分析单元，用于接收光罩盒智能货柜的结构状态信息，并进行货柜结构状态分析，据此生成实料货位集合A与待料货位集合B，并将实料货位集合A中的各货位在显示屏上用绿色颜色显示，将待料货位集合B中的各货位在显示屏上用黄色颜色显示，并将集合A与集合B分别发送至光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元；光罩盒入库控制单元，用于接收待料货位集合B，并据此调取光罩盒的放入状态信息，并进行入库操作处理，据此生成入库成功指令，并触发用于电磁锁开关的继电器；光罩盒出库控制单元，用于接收实料货位集合A，并据此调取光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，并进行出库操作处理，据此生成出库指令，并触发用于电磁锁开关的继电器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡芯享信息科技有限公司 一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统

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