申请/专利权人：上海大学;上海大学绍兴研究院

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117888081A

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/32;C23C16/02;B82Y30/00;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明公开一种连续式制备碳化硅纳米线增强碳化硅涂层的方法，旨在基于化学气相沉积的方法，对制备碳化硅纳米线增韧碳化硅涂层的方法进行改进，在减少工艺步骤的条件下，制备出理想的碳化硅涂层。

主权项：1.一种连续式制备碳化硅纳米线增强碳化硅涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：1将所用石墨基底超声清洗，并放入沉积炉中；2升温加热，同时通入氩气作为保护气；3打开沉积炉阀门一，让前驱体三氯甲基硅烷经过阀门一与铁离子负载器后进入沉积炉中；4进行碳化硅纳米线的沉积，沉积后关闭阀门一；5打开阀门二，在高温底真空下，进行碳化硅涂层沉积。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海大学;上海大学绍兴研究院 一种连续式制备碳化硅纳米线增韧碳化硅涂层的方法

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