申请/专利权人：苏州万龙达电子科技有限公司

申请日：2023-10-07

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220825846U

主分类号：B24B37/34

分类号：B24B37/34;B24B37/27

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型涉及碳化硅晶片生产技术领域，具体是一种碳化硅晶片研磨用的下蜡装置，包括框架和回收箱，所述框架一边的一侧外壁安装有电机，所述电机输出轴的一端通过联轴器连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁通过螺纹连接有滑动架，所述滑动架底端的另一边外壁通过螺纹连接有推板，所述框架的底部内壁固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端外壁设置有陶瓷盘，所述支撑板顶端的两侧外壁均固定连接有支撑平台，所述回收箱顶部另一边的两侧外壁均固定连接有固定块；本实用新型可以双向输出下料，推板左右移动时均可以对碳化硅晶片进行推动，节省时间降低生产成本，多余的去蜡液被回收利用，不需要频繁更换柔软吸液层，提高了下蜡装置的使用效率。

主权项：1.一种碳化硅晶片研磨用的下蜡装置，包括框架1和回收箱7，其特征在于，所述框架1一边的一侧外壁安装有电机2，所述电机2输出轴的一端通过联轴器连接有螺纹杆5，所述螺纹杆5的外壁通过螺纹连接有滑动架4，所述滑动架4底端的另一边外壁通过螺纹连接有推板11，所述框架1的底部内壁固定连接有支撑板9，所述支撑板9的顶端外壁设置有陶瓷盘14，所述支撑板9顶端的两侧外壁均固定连接有支撑平台13，所述回收箱7顶部另一边的两侧外壁均固定连接有固定块17，所述固定块17均与支撑板9一边外壁固定连接，所述回收箱7顶部的另一边外壁设置有回收管16，所述支撑板9的底端外壁通过螺钉连接有收集板8，所述收集板8底部的一边外壁开设有连接孔，所述回收管16插接于连接孔内壁，所述支撑板9和支撑平台13的顶端外壁均开设有过滤孔15。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州万龙达电子科技有限公司 一种碳化硅晶片研磨用的下蜡装置

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