申请/专利权人：南京晶升装备股份有限公司

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117889934A

主分类号：G01F23/24

分类号：G01F23/24;C30B35/00;C30B29/36

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种SiC液相长晶炉液位的检测方法及装置，所述方法包括：步骤1、不在坩埚内添加熔融料，旋转坩埚，测量坩埚处于空锅状态下的电压U01；步骤2、在坩埚内添加熔融料，并使籽晶不与熔融料接触，旋转坩埚，测得长晶炉坩埚内带有熔融料且籽晶不与熔融料接触时的电压U02；步骤3、将籽晶与熔融料调整为接触状态，使坩埚与籽晶相向旋转，测得籽晶与熔融料接触状态下的电压U03；步骤4、炉内长晶一定时间后，使坩埚与籽晶相向旋转，测量待测状态下坩埚及坩埚内熔融料的电压U0x；步骤5、根据测得的U01、U02、U03、U0x，计算待测状态下熔融料的转动惯量J料x；步骤6、根据转动惯量J料x计算得出待测状态下熔融料的料液深度hx。

主权项：1.一种SiC液相长晶炉液位的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、不在坩埚内添加熔融料，旋转坩埚，利用测量电路测量坩埚处于空锅状态下的电压U01；步骤2、在坩埚内添加熔融料，并使籽晶不与熔融料接触，旋转坩埚，利用测量电路测得长晶炉坩埚内带有熔融料且籽晶不与熔融料接触时的电压U02，此时熔融料未被消耗；步骤3、将籽晶与熔融料调整为接触状态，使坩埚与籽晶相向旋转，利用测量电路测得籽晶与熔融料接触状态下的电压U03，此时熔融料未被消耗；步骤4、炉内长晶一定时间后，使坩埚与籽晶相向旋转，利用测量电路测量待测状态下坩埚及坩埚内熔融料的电压U0x；步骤5、根据测得的U01、U02、U03、U0x，计算待测状态下熔融料的转动惯量J料x；步骤6、根据转动惯量J料x计算得出待测状态下熔融料的料液深度hx。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京晶升装备股份有限公司 一种SiC液相长晶炉液位的检测方法及装置

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