申请/专利权人：环球晶圆股份有限公司

申请日：2019-12-27

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN111696901B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：["20190313 TW 108108402"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2020.10.20#实质审查的生效;2020.09.22#公开

摘要：一种晶圆转换装置，适用于供第一晶圆载具及第二晶圆载具放置。该第一晶圆载具包含多个第一容置槽，每个第一容置槽适用于容置晶圆。该第二晶圆载具包含多个第二容置槽，每个第二容置槽适用于容置晶圆并具有第一槽部及与该第一槽部相间隔的第二槽部。该晶圆转换装置包含基座、导引单元及顶推机构。该导引单元包括具有多个垂直间隔排列的第一导引槽的第一导引架。该顶推机构可受控以顶推与所述第二容置槽对齐的所述第一容置槽中的所述晶圆，使所述晶圆由所述第一容置槽通过该导引单元的该第一导引架经由所述第一导引槽最终移动至所述第二容置槽内。借此确保晶圆能顺畅地由第一晶圆载具转移至第二晶圆载具而有效提升制程良率及生产效率。

主权项：1.一种晶圆转换装置，适用于供第一晶圆载具及第二晶圆载具放置，该第一晶圆载具包含多个垂直间隔排列的第一容置槽、连通所述第一容置槽之一侧的第一入口，及连通所述第一容置槽之另一侧的第一出口，每个第一容置槽适用于容置晶圆，该第二晶圆载具包含多个垂直间隔排列的第二容置槽、连通所述第二容置槽之一侧且朝向该第一出口的第二入口及两个自该第二入口倾斜延伸的侧边，每个第二容置槽适用于容置晶圆并具有邻近该第一晶圆载具的第一槽部及远离该第一晶圆载具且与该第一槽部相间隔的第二槽部，其特征在于，该晶圆转换装置包含：基座；导引单元，包括设置于该基座的第一导引架，该第一导引架具有设置于该基座的底壁、自该底壁向上延伸的主体壁及两个分别设置于该主体壁两侧边的导引壁，该底壁供该第二晶圆载具放置，每个导引壁包括第一导引部，所述第一导引部可分别适用于贴靠该第二晶圆载具的所述侧边并具有多个垂直间隔排列并沿着该侧边方向延伸且位于所述第一槽部及所述第二槽部之间的第一导引槽，每个第一导引槽具有邻近该第一晶圆载具且垂直对齐所述第一槽部其中一者的第一入口段，所述第一入口段的垂直高度大于所述第一槽部的垂直高度；高度调整机构，包括第一承载板及第二承载板，该第一承载板的高度小于该第二承载板的高度，该第一承载板及该第二承载板其中之一设置于该基座并承载该第一晶圆载具；及顶推机构，可动地设置于该基座，该顶推机构可受控穿过该第一晶圆载具的该第一入口以顶推与所述第二容置槽对齐的所述第一容置槽中的所述晶圆，使所述晶圆由所述第一容置槽通过该第一出口，并经由该第二晶圆载具的该第二入口进入所述第二容置槽的第一槽部，接着通过所述第一导引槽最终移动至所述第二容置槽的第二槽部内。

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权利要求：

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