申请/专利权人：苏州睿新微系统技术有限公司

申请日：2024-03-05

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117890309A

主分类号：G01N21/17

分类号：G01N21/17;G01N29/02

优先权：["20230410 CN 2023103762186"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本申请提供了一种光声光谱气体探测装置，其包括：基板、位于基板上且与基板形成光声测量池的光声测量池主体、用于向光声测量池内发射电磁辐射的电磁辐射源、设于基板上且位于光声测量池内的声换能器以及覆盖在光声测量池的透气孔处的MEMS开关，通过控制MEMS开关在第一状态和第二状态之间的切换，实现光声测量池在需要待测气体进入时，而通过透气孔与外界保持连通，在进行气体测量时被MEMS开关完全密封而与外界隔绝，从而可有效的避免了光声测量池外界的噪声对待测气体探测结果的影响，提高测量信号的幅值，并大幅提升信噪比，进而提高了光声光谱探测装置的探测准确度。

主权项：1.一种光声光谱气体探测装置，其特征在于，包括：基板；位于所述基板的第一侧的光声测量池主体，所述光声测量池主体与所述基板限定包围所述待测气体测量体积的光声测量池，所述光声测量池具有用于供待测气体进入所述光声测量池内的透气孔；电磁辐射源，用于向所述声光测量池内发射电磁辐射；位于所述光声测量池内的声换能器，所述声换能器用于将所述待测气体吸收所述电磁辐射后产生的声波转换成表征所述待测气体浓度的测量电信号；设置于所述透气孔处的MEMS开关，所述MEMS开关包括相对的固定电极结构和可移动电极结构，所述固定电极结构具有通孔，所述可移动电极结构面向所述固定电极结构的一侧设有与所述通孔对应的凸块；在所述MEMS开关处于第一状态时，所述凸块封堵对应的所述通孔，所述声光测量池通过所述MEMS开关与外界隔离；在所述MEMS开关处于第二状态时，所述凸块与所述通孔物理隔离，所述声光测量池通过所述透气孔与所述外界连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州睿新微系统技术有限公司 光声光谱气体探测装置

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