申请/专利权人：金华博蓝特新材料有限公司

申请日：2021-12-13

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN114425534B

主分类号：B08B3/08

分类号：B08B3/08;C11D1/22;C11D1/14;C11D3/20;C11D3/22;C11D3/36;C11D3/60;H01L21/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.05.20#实质审查的生效;2022.05.03#公开

摘要：本发明涉及一种在蓝宝石衬底铜抛后清洗的方法，该方法采用磺酸微腐蚀、纳米除油乳化剂乳化和超声波清洗相结合，有效清除了蓝宝石衬底上的黏附颗粒、有机物、金属污染物，以及特别是公认的难以清除的顽强氧化物，从而提高了蓝宝石衬底的稳定性，为蓝宝石衬底下一步工艺奠定了基础。

主权项：1.一种在蓝宝石衬底铜抛后清洗的方法，其特征在于，包括：使用含有磺酸盐类表面活性剂的第一溶液浸泡经铜抛后的蓝宝石衬底，水洗后，在有机溶剂和水的混合物中进行第一次超声波清洗；使用含有纳米除油乳化剂的第二溶液清洗所述蓝宝石衬底，水洗后，在水中进行第二次超声波清洗；以及将所述蓝宝石衬底甩干；所述磺酸盐类表面活性剂的质量浓度为10％-40％；浸泡温度为40-70℃，浸泡时间为5min以下；在第一次超声波清洗中，超声波频率为40-100KHz，清洗温度为25-45℃；在第二次超声波清洗中，超声波频率为120-250KHz。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 金华博蓝特新材料有限公司 一种在蓝宝石衬底铜抛后清洗的方法

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