申请/专利权人：杭州嘉悦智能设备有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117466304B

主分类号：C01B33/18

分类号：C01B33/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：本发明涉及一种氧化亚硅生产设备，包括依次连通的高温室、过渡室以及低温室，三者内部分别设置有相互独立的加热组件，高温室内固设有原料装填量大于300kg的坩埚；通过在高温室、过渡室以及低温室内设置相互独立的加热组件，对各个仓室独立进行加热控温，以确保各个仓室的温度能够控制在有效区域内，以满足实际生产需求，达到提高制备效率的效果；此外，为过渡室设置加热组件独立加热控温，能够确保过渡室内的物料维持气相状态，并保持气相状态进入低温室参与后续的沉积步骤，尽可能减少因过渡室内温度不够从而导致过渡室内的物料状态发生改变，进而导致产品反应不完全的情况发生，从而提高沉积效果。

主权项：1.一种氧化亚硅生产设备，其特征在于，包括依次连通的高温室（100）、过渡室（200）以及低温室（300），三者内部分别设置有相互独立的加热组件，所述高温室（100）内固设有原料装填量大于等于300kg的坩埚（111）；所述低温室（300）包括低温炉体（310）、低温炉盖（320）、冷却液循环组件（10）以及驱动组件（30），所述低温炉盖（320）可拆卸地固定于所述低温炉体（310）；所述冷却液循环组件（10）包括依次连通的内管（11）、收集件（12）以及外管（13），所述收集件（12）位于所述低温炉体（310）内，所述内管（11）与所述外管（13）同心设置，所述内管（11）以及所述外管（13）贯穿所述低温炉盖（320）；所述冷却液循环组件（10）还包括进出接头（14），所述进出接头（14）与所述外管（13）转动连接，所述内管（11）延伸至所述进出接头（14）内，所述进出接头（14）开设有分别与所述内管（11）以及所述外管（13）对应连通的内管口（141）以及外管口（142），其中一者用于进液，另一者用于出液；所述进出接头（14）沿所述内管（11）轴线方向开设有连接腔（143）、沿所述内管（11）径向方向开设有所述内管口（141）以及所述外管口（142），其中，所述外管口（142）与所述连接腔（143）连通；所述内管口（141）位于所述连接腔（143）远离所述收集件（12）的一侧，所述内管（11）贯穿所述连接腔（143）至所述内管口（141）内；所述冷却液循环组件（10）还包括接头法兰（15），所述进出接头（14）与所述接头法兰（15）的一端固定，所述外管（13）与所述接头法兰（15）的另一端转动连接，以通过所述接头法兰（15）连通所述外管（13）以及所述外管口（142）；所述内管（11）贯穿所述接头法兰（15）至所述进出接头（14）内，并与所述进出接头（14）固定，以连通所述内管（11）和所述内管口（141）；所述外管（13）包括外主管（131）和外支管（132），所述外主管（131）的端部与所述收集件（12）的内底壁固定，所述外主管（131）的端部还与所述内管（11）转动连接；所述驱动组件（30）包括电机以及传动单元，所述电机相对于支架（20）固定，所述电机的输出轴以及所述外管（13）通过传动单元传动连接；所述收集件（12）在所述驱动组件（30）的带动下旋转。

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