申请/专利权人：西实显示高新材料(沈阳)有限公司

申请日：2022-09-27

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN115432935B

主分类号：C03C15/00

分类号：C03C15/00;C03C23/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.12.23#实质审查的生效;2022.12.06#公开

摘要：本发明涉及一种等离子体蚀刻治具和等离子体蚀刻设备。等离子体蚀刻治具包括：主体，包括曲面部以及与曲面部相连接的连接部；曲面部具有抵接面；第一连接件，设于主体；第一连接件与3D玻璃可拆卸连接，以使3D玻璃的轮廓面紧贴抵接面；用于与载具可拆卸连接的第二连接件，第二连接件与连接部可拆卸连接。在针对不同尺寸、曲度、型号的3D玻璃进行真空镀膜时，可以将原主体与第二连接件拆卸后，将抵接面形状符合另一3D玻璃的主体安装至第二连接件，实现更换等离子体蚀刻治具的局部即可获得不同的等离子体蚀刻治具，以减少等离子体蚀刻治具的制作成本，从而降低镀膜成本。

主权项：1.一种等离子体蚀刻治具，其特征在于，包括：主体，贯穿地开设有多个对应于3D玻璃的边缘的连接通孔，多个所述连接通孔沿预设方向依次排列，且多个所述连接通孔均沿所述预设方向延伸且长度均相等；所述主体包括曲面部以及与所述曲面部相连接的连接部；所述曲面部具有抵接面；沿所述主体的抵接面至背离所述抵接面的方向，所述连接通孔的开口逐渐增大；第一连接件，设于所述主体；所述第一连接件包括多个第一连接部和多个第二连接部，多个所述第一连接部与多个第二连接部沿所述预设方向交替设置且相互连接，所述第一连接部粘附于所述主体背离所述抵接面的一侧，多个所述第二连接部与多个所述连接通孔一一对应，且所述第二连接部相对所述第一连接部弯折以伸入所述连接通孔内部，并用于粘附3D玻璃，以使所述3D玻璃的轮廓面紧贴所述抵接面；所述第一连接件上与所述3D玻璃相粘附的部分的面积大于所述第一连接件上未与所述3D玻璃相粘附的部分的面积；用于与载具可拆卸连接的第二连接件，所述第二连接件与所述连接部可拆卸连接，所述第二连接件用于连接不同的所述主体，以适应不同规格的所述3D玻璃。

全文数据：

权利要求：

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