申请/专利权人：无锡物联网创新中心有限公司

申请日：2023-07-31

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN116972738B

主分类号：G01B7/06

分类号：G01B7/06;G01K7/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2023.11.17#实质审查的生效;2023.10.31#公开

摘要：本发明涉及微电子测试分析技术领域，具体公开了一种MEMS薄膜型悬空结构悬空高度的检测方法,包括：在MEMS悬空薄膜结构上设置热敏单元；提取电压相对稳定时的第一电流及其对应的第一电压值；获得热敏单元在高真空下的电压‑电流关系曲线，并提取电压相对稳定时的第二电流及其对应的第二电压值；获得热敏单元在大气压下与第一电流对应的第一热敏系数，以及第二电流对应的第二热敏系数；根据第一热敏系数、第二热敏系数、第一电压值和第二电压值与悬空高度的映射关系，确定MEMS悬空结构的悬空高度。本发明提供的检测方法是针对传统对器件裂片以检测悬空高度的方式所设计，用以改进传统检测方法对器件的破坏，以完成悬空高度的无损检测。

主权项：1.一种微机电系统MEMS悬空薄膜结构悬空高度的检测方法，其特征在于，所述方法包括：在MEMS悬空薄膜结构上设置热敏单元；获得所述热敏单元在大气压下的电压-电流关系曲线，并提取电压相对稳定时的第一电流及其对应的第一电压值；获得所述热敏单元在高真空下的电压-电流关系曲线，并提取电压相对稳定时的第二电流及其对应的第二电压值；获得所述热敏单元在大气压下与所述第一电流对应的第一热敏系数，以及所述第二电流对应的第二热敏系数；根据所述第一热敏系数、所述第二热敏系数、所述第一电压值和所述第二电压值与悬空高度的映射关系，确定所述MEMS悬空薄膜结构的悬空高度；其中，所述根据所述第一热敏系数、第二热敏系数、第一电压值和第二电压值与悬空高度的映射关系，确定所述MEMS悬空薄膜结构的悬空高度，包括：确定与所述MEMS悬空薄膜结构对应的悬空薄膜面积；基于所述悬空薄膜面积，结合玻尔兹曼常数确定所述第一热敏系数、所述第二热敏系数、所述第一电压值和所述第二电压值与所述悬空高度的映射关系；基于所述映射关系确定所述MEMS悬空薄膜结构的悬空高度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡物联网创新中心有限公司 MEMS悬空薄膜结构悬空高度的检测方法

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