申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2020-04-28

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN113874787B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G01N21/956;G06T7/00

优先权：["20190521 US 62/850,838"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.01.21#实质审查的生效;2021.12.31#公开

摘要：本文中描述了一种用于确定与待印制于衬底上的图案相关联的随机边缘放置误差的方法。所述方法包括：经由量测工具采集所述图案的在所述衬底上的限定部位处的多个图像，而不在所述多个图像之间执行衬底对准；生成至少两个数据：i使用所述多个图像的第一图像集合产生与所述图案相关联的第一数据，和ii使用多个图像的第二图像集合产生与所述图案相关联的第二数据。所述第一图像集合和所述第二图像集合包括至少一个不同图像。还在所述限定部位处使用与所述图案相关联的所述第一数据和所述第二数据来确定例如经由分解算法与所述图案相关联的所述随机边缘放置误差。

主权项：1.一种非暂时性计算机可读介质，所述非暂时性计算机可读介质具有记录在其上的指令，所述指令在由一个或更多个处理器执行时实施用于确定与待印制于衬底上的图案相关联的随机边缘放置误差的方法，所述方法包括：获得所述图案的在所述衬底上的限定部位处的多个图像，其中在未在所述多个图像之间执行衬底对准的情况下经由量测工具采集所述多个图像；生成至少两个数据，包括：i使用所述多个图像的第一图像集合生成与所述图案相关联的第一数据，和ii使用所述多个图像的第二图像集合生成与所述图案相关联的第二数据，其中所述第一图像集合和所述第二图像集合包括至少一个不同的图像；以及使用在所述限定部位处的、与所述图案相关联的所述第一数据和所述第二数据来确定与所述图案相关联的所述随机边缘放置误差。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 用于确定与期望图案相关联的随机变化的方法

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