申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2021-01-04

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN113078085B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/673

优先权：["20200106 KR 10-2020-0001240"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.08.17#实质审查的生效;2021.07.06#公开

摘要：一种用于储存对象的储存设备，包括：装载端口单元，容座装载到所述装载端口单元上或从所述装载端口单元拆卸，其中所述容座将所述对象容纳在由主体和覆盖所述主体的盖形成的储存空间中；以及控制器。所述装载端口单元包括具有内部空间的壳体；台架构件，所述台架构件设置在所述壳体上，并且通过移动所述主体而打开所述储存空间，所述容座放置在所述台架构件上；以及排气管，所述排气管使彼此间隔开的所述主体和所述盖之间的间隔空间进行排气。所述排气管的一个端部面向所述间隔空间，并且所述排气管的相对的端部面向所述内部空间。

主权项：1.一种用于储存对象的储存设备，所述储存设备包括：装载端口单元，容座被装载到所述装载端口单元上或从所述装载端口单元上卸下，所述容座被配置成将所述对象容纳在由主体和盖形成的第一储存空间中，所述盖被配置成覆盖所述主体；储存单元，具有所述对象被储存在其中的第二储存空间；传送单元，被配置成在所述装载端口单元和所述储存单元之间传送所述对象；以及控制器，其中所述装载端口单元包括：具有内部空间的壳体；台架构件，被设置在所述壳体上，并且被配置成通过移动所述主体而打开所述第一储存空间，所述容座被放置在所述台架构件上；以及排气管，被配置成使介于彼此间隔开的所述主体和所述盖之间的间隔空间进行排气，其中所述排气管的一个端部面向所述间隔空间，并且所述排气管的相对的端部面向所述内部空间，其中第一风扇和第二风扇被设置在所述排气管中，所述第二风扇被定位成比所述第一风扇更加远离所述排气管的所述一个端部，并且其中所述控制器控制所述第一风扇和所述第二风扇，使得所述第二风扇在所述第一风扇被驱动之后被驱动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 装载端口单元、包括装载端口单元的储存设备和排气方法

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