申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2020-06-15

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN114096917B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20190710 US 62/872,521"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.03.15#实质审查的生效;2022.02.25#公开

摘要：描述了用于减小与图案化过程相关联的预测模型中的预测不确定性的系统及方法。这些系统及方法可以用于例如校准与图案化过程相关联的过程模型。减小预测模型中的不确定性可以包括基于预测数据确定预测不确定性参数。可以使用预测模型确定预测数据。可以已经利用校准数据来校准预测模型。预测不确定性参数可以与预测数据的变化相关联。减小预测模型中的不确定性可以包括：基于预测不确定性参数来选择过程数据的子集；以及使用校准数据以及过程数据的被选择的子集再校准预测模型。

主权项：1.一种用于选择与图案化过程相关联的数据的方法，该方法包括：使用一个或多个预测模型确定预测数据，已经利用校准数据对所述一个或多个预测模型进行校准；基于所述预测数据确定预测不确定性参数，所述预测不确定性参数与所述预测数据的变化相关联；基于所述预测不确定性参数选择数据的集合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 用于减小模型预测不确定性的模型校准的预测数据选择

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