申请/专利权人：东莞市晟悦半导体设备有限公司

申请日：2022-05-24

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN114855251B

主分类号：C25D17/10

分类号：C25D17/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.08.23#实质审查的生效;2022.08.05#公开

摘要：本发明涉及电镀技术领域，具体而言，涉及一种动态阳极遮挡结构。动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件；遮挡板与安装板可转动地连接；驱动组件与安装板连接，并用于驱动遮挡板相对于安装板转动。该动态阳极遮挡结构能够均匀遮挡镀件的边缘，进而可以消除晶圆在垂直机台上边缘局部的差异，使整板镀层均匀性进一步提高。

主权项：1.一种动态阳极遮挡结构，其特征在于：所述动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件；所述遮挡板与所述安装板可转动地连接；所述驱动组件与所述安装板连接，并用于驱动所述遮挡板相对于所述安装板转动；所述驱动组件包括驱动件、转动连接件以及传动件；所述驱动件通过所述转动连接件与所述安装板可转动地连接，所述遮挡板与所述驱动件连接；所述传动件与所述驱动件传动连接，且所述传动件用于与外部动力单元传动连接；所述驱动件的外周面设置有外齿，所述传动件为传动齿轮，所述传动齿轮与所述外齿啮合；所述驱动件设置有镂空的圆心部；所述遮挡板为环形件，所述遮挡板具备环形的第一遮挡部；沿所述驱动件的轴线方向，所述第一遮挡部位于所述圆心部的投影区域内；或，所述遮挡板包括子板体，所述子板体与所述驱动件连接，所述子板体具备第二遮挡部；沿所述驱动件的轴线方向，所述第二遮挡部位于所述圆心部的投影区域内。

全文数据：

权利要求：

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