申请/专利权人：上海卧顺电子科技有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220792785U

主分类号：F17C1/00

分类号：F17C1/00;F17C13/00;F17C13/08;F16F15/067;F16F15/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型属于特气柜技术领域，具体的说是一种具有拆卸组装功能的半导体行业特种气体气源柜，包括特气柜柜体和设置在特气柜柜体上方的安装机构，所述安装机构包括夹持组件和滑动组件；所述夹持组件包括分隔板、第一滑槽、固定杆、第二滑槽、第一把手、第一齿轮、第二齿轮、螺纹轴、第一夹板、固定夹板和第二夹板，所述特气柜柜体的内部安装有分隔板，本实用新型通过转动第二把手带动转轴进行转动，转轴带动转动齿轮进行转动，转动齿轮与齿轮条相啮合，能够实现将后侧门板带动在第三滑槽内部进行滑动，从而在不使用螺栓固定的方式的情况下打开后侧门板，进一步的对内部进行检修组装，提高了装置的使用效率，延长了装置的使用年限。

主权项：1.一种具有拆卸组装功能的半导体行业特种气体气源柜，包括特气柜柜体1和设置在特气柜柜体1上方的安装机构，其特征在于：所述安装机构包括夹持组件和滑动组件；所述夹持组件包括分隔板11、第一滑槽12、固定杆13、第二滑槽14、第一把手15、第一齿轮16、第二齿轮17、螺纹轴18、第一夹板19、固定夹板20和第二夹板21，所述特气柜柜体1的内部安装有分隔板11，且分隔板11的两侧开设有第一滑槽12，所述特气柜柜体1的内壁安装有固定杆13，所述固定杆13的内部开设有第二滑槽14，所述固定杆13的前端面设置有第一把手15，所述第一把手15的末端连接有第一齿轮16，且第一齿轮16的外表面啮合有第二齿轮17，所述第二齿轮17的右侧连接有螺纹轴18，所述螺纹轴18的外表面连接有第一夹板19，所述特气柜柜体1的内壁安装有固定夹板20，所述固定夹板20的内壁连接有第二夹板21；所述滑动组件包括第三滑槽25、后侧门板26、限位板27、第一固定块28、第二把手29、转轴30、转动齿轮31、第二固定块32和齿轮条33，所述特气柜柜体1的内侧底部设置有第三滑槽25，且第三滑槽25的内部设置有后侧门板26，所述后侧门板26的外表面安装有限位板27，所述特气柜柜体1的侧面设置有第一固定块28，所述第一固定块28的上方设置有第二把手29，所述第二把手29的下方连接有转轴30，且转轴30的末端安装有转动齿轮31，所述转轴30的底部安装有第二固定块32，所述后侧门板26的下表面设置有齿轮条33。

全文数据：

权利要求：

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