申请/专利权人：埃特曼(厦门)光电科技有限公司

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788876U

主分类号：C30B23/02

分类号：C30B23/02;C30B25/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本申请涉及一种分子束外延源炉的机械快门装置，包括：安装座；直线轴承，安装在安装座内；快门杆，安装在直线轴承内；安装座内具有供快门杆收纳的第一空间；快门片，固定在快门杆远离安装座的一端；源炉，源炉用于喷射材料的蒸发束流；快门片用于在蒸发束流的流通路径中进行遮挡，快门杆至少能够到达两个位置，快门杆到达第一位置时，快门杆容纳于第一空间内，蒸发束流能够通过流通路径；快门杆到达第二位置时，快门杆至少部分伸出于第一空间，流通路径被快门片遮挡。本实用新型通过在安装座内设置直线轴承连接快门杆，使快门杆上下伸缩的阻力减小，保证快门杆能够成功切换位置，避免了润滑剂失效或挥发带来的不利影响。

主权项：1.一种分子束外延源炉的机械快门装置，其特征在于，包括：安装座1；直线轴承2，安装在所述安装座1内；快门杆3，安装在所述直线轴承2内；所述安装座1内具有供所述快门杆3收纳的第一空间；快门片4，固定在所述快门杆3远离所述安装座1的一端；源炉5，所述源炉5用于喷射材料的蒸发束流51；所述快门片4用于在所述蒸发束流51的流通路径中进行遮挡，所述快门杆3至少能够到达两个位置，所述快门杆3到达第一位置时，所述快门杆3容纳于所述第一空间内，所述蒸发束流51能够通过所述流通路径；所述快门杆3到达第二位置时，所述快门杆3至少部分伸出于所述第一空间，所述流通路径被所述快门片4遮挡。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 埃特曼(厦门)光电科技有限公司 一种分子束外延源炉的机械快门装置

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