申请/专利权人：昆山成格光电有限公司

申请日：2023-06-02

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220781466U

主分类号：B08B3/00

分类号：B08B3/00;B08B13/00;B01F23/237

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及一种清洗用多重剪切纳米气泡喷头，包括气泡生成装置、气泡剪切装置和喷头本体，所述气泡生成装置和气泡剪切装置之间通过增压管连接，所述气泡剪切装置通过管道与喷头本体连接，所述气泡生成装置包括第一转子叶轮、微孔曝气头及空气接入管，其中第一转子叶轮和微孔曝气头交替设于空气接入管的排气口一端；所述增压管包括相互连接的第一接口和第二接口，所述第二接口与所述气泡剪切装置连接，所述第二接口的内径小于所述第一接口的内径。本实用新型的有益效果是：能够对生成的纳米级气泡进行多重剪切，改善对半导体器件的清洗效果。

主权项：1.一种清洗用多重剪切纳米气泡喷头，其特征在于：包括气泡生成装置、气泡剪切装置和喷头本体，所述气泡生成装置和气泡剪切装置之间通过增压管连接，所述气泡剪切装置通过管道与喷头本体连接；所述增压管包括相互连接的第一接口和第二接口，第一接口与气泡生成装置连接，所述第二接口与所述气泡剪切装置连接，所述第二接口的内径小于所述第一接口的内径，所述气泡剪切装置包括剪切管道、空心球体和第二转子叶轮，所述空心球体与所述第二转子叶轮依次设置在所述剪切管道内，所述空心球体与所述剪切管道的内壁之间形成剪切通道。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昆山成格光电有限公司 一种清洗用多重剪切纳米气泡喷头

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