申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-09-02

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117916870A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;C23C16/52;C23C16/455;C23C16/458

优先权：["20210903 US 17/466,403"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.19#公开

摘要：描述计量槽板、处理腔室盖和具有计量槽板的处理腔室。计量槽板中的每一者独立地包括板坯、反射计、电容传感器、气体流量计、压力计、高温计、距离传感器激光器或发射率计中的一者或多者。

主权项：1.一种计量槽板，包括：细长计量板主体，所述细长计量板主体具有顶表面与底表面、内端与外端，所述顶表面与所述底表面限定所述细长计量板主体的厚度，所述内端与所述外端限定所述细长计量板主体的长度；所述细长计量板主体具有上部和下部，所述上部具有比所述下部更大的宽度以形成所述上部的底面，所述下部具有沿所述下部的长度延伸的第一侧面和第二侧面；入口，所述入口在所述细长计量板主体的所述顶表面中，所述入口连接到气体通道，所述气体通道至少部分地穿过所述主体的所述厚度延伸到出口；及高温计开口，所述高温计开口延伸穿过所述细长计量板主体的所述厚度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 计量槽板

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