申请/专利权人：中国工程物理研究院总体工程研究所

申请日：2020-08-04

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN111786255B

主分类号：H01S5/02315

分类号：H01S5/02315;H01S5/065;H01S5/068;H01S5/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：本发明公开了一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器，包括激光二极管模块、准直器、光强稳定模块、闪耀光栅、输出反射镜、输出偏振分光模块、二维调整模块、柔性调整平台、压电陶瓷a、压电陶瓷b、频率稳定模块、底板、弹性阻尼器、罩壳。本申请采用双压电陶瓷驱动柔性调整平台实现闪耀光栅转动和平移，能够在调整光栅角度时调整外腔长度，使外腔中保持一个固定的纵模，从而实现宽频无跳模调谐；本申请在需要进行原子吸收光谱特性分析时，可采用频率调谐模式，在需要稳定的激光束时可采用稳光强和稳频模式；输出反射镜和闪耀光栅一起放置于柔性调整平台上，调谐过程中输出光束不发生偏转。

主权项：1.一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器，其特征在于：包括：底板（25）；底板（25）中心处开设有空腔；闪耀光栅（1）；二维调整模块；闪耀光栅（1）固定在二维调整模块上，二维调整模块用于在水平方向上对闪耀光栅（1）的位置进行调节；输出反射镜（15）；柔性调整平台（13）；二维调整模块和输出反射镜（15）均置于柔性调整平台（13）上；柔性调整平台（13）置于底板（25）的空腔内，柔性调整平台（13）通过柔性连接机构（31）与底板（25）连接；压电陶瓷a（2）；压电陶瓷b（11）；压电陶瓷a（2）和压电陶瓷b（11）均置于柔性调整平台（13）和底板（25）之间的水平空隙中，且电陶瓷a（2）的作用端和压电陶瓷b（11）的作用端分别与柔性调整平台（13）连接；激光二极管模块；准直器（18）；光强稳定模块；激光二极管模块、准直器（18）、光强稳定模块均位于底板（25）上方，且靠近二维调整平台的第一端；输出偏振分光模块；频率稳定模块；频率稳定模块位于底板（25）上方，且靠近二维调整平台的第二端；激光驱动电路；激光驱动电路与激光二极管模块电性连接；压电驱动电路；用于解调出偏离原子吸收谱中心的误差信号的信号处理电路；信号处理电路的信号端口与控制器的信号端口连接；控制器；控制器的控制信号输出端与压电驱动电路的控制信号输入端连接，压电驱动电路的控制信号输出端分别与压电陶瓷a（2）的控制信号输入端、压电陶瓷b（11）的控制信号输入端连接；光强探测模块（16）；光强探测模块（16）用于接收入射光，将光强信号转变为电信号，控制器用于接收该电信号；控制器的控制信号输出端与激光驱动电路的控制信号输入端连接；激光二极管模块发出一束激光，经过准直器（18）后通过偏振分光第一路沿入射方向照射到闪耀光栅（1）表面，第二路沿垂直入射方向进入光强稳定模块；入射到闪耀光栅（1）上的入射光以特定的入射角入射，经闪耀光栅（1）衍射后，-1阶衍射光沿入射光方向返回进入激光二极管模块，0阶衍射光入射到输出反射镜（15）上，经输出反射镜（15）反射后入射到输出偏振分光模块，由输出偏振分光模块分为垂直的两路光，第一路为输出光束，第二路垂直光入射到频率稳定模块；光强稳定模块包括12波片Ⅲ（23）、偏振分光镜PBSⅢ（24）、光电探测器；频率稳定模块包括12波片Ⅰ（8）、偏振分光镜PBSⅠ（6）、反射镜（7）、碱金属气室（4）、参考气室（5）、差分式光电探测器（3）；输出偏振分光模块的第二路垂直光入射到频率稳定模块；经过12波片Ⅰ（8）的光再经偏振分光镜PBSⅠ（6）后，透射光进入碱金属气室（4）；经过12波片Ⅰ（8）的反射光经反射镜（7）反射后进入参考气室（5）；经过碱金属气室（4）、参考气室（5）的激光束由差分式光电探测器（3）接收。

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权利要求：

百度查询： 中国工程物理研究院总体工程研究所 一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器

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