申请/专利权人：深圳市矩阵多元科技有限公司

申请日：2021-11-10

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN114264429B

主分类号：G01M3/26

分类号：G01M3/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2022.04.19#实质审查的生效;2022.04.01#公开

摘要：本申请属于真空系统密封性测试技术领域，本申请提供了一种测试真空系统漏气的方法、装置、电子设备及存储介质。该方法用于对真空系统是否漏气进行测试，方法包括以下步骤：获取真空系统放入工件后，从开始抽气至达到预定压力所需的时间，并记录为第一时间；根据第一时间与预设时间判断真空系统是否漏气；其中，预设时间为真空系统放入工件前，从开始抽气至达到预定压力所需的时间。本申请可以对真空系统是否漏气进行测试，当真空系统漏气时，及时提醒使用者进行维护，避免真空系统漏气影响制备出的工件的质量，从而提高良品率。

主权项：1.一种测试真空系统漏气的方法，用于对物理气相沉积、化学气相沉积以及原子层沉积高真空设备的真空系统是否漏气进行测试，其特征在于，所述方法包括以下步骤：将未放入工件的真空系统内的压力调整为标准大气压；获取所述真空系统放入工件前，从开始抽气至达到预定压力所需的时间，得到预设时间；将放入工件后的真空系统内的压力调整为标准大气压；获取真空系统放入工件后，从开始抽气至达到预定压力所需的时间，并记录为第一时间；根据所述第一时间与所述预设时间判断所述真空系统是否漏气；根据预设周期对所述预设时间进行更新；其中，所述预设周期是指使用真空系统进行加工至少一次或多天的时间作为一个周期，使用真空系统进行加工前测出所述预设时间，加工过程中，每次记录的所述第一时间都与该使用真空系统进行加工前测出所述预设时间进行对比，当达到规定的加工次数或达到规定的时间周期时，对所述预设时间重新测量设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市矩阵多元科技有限公司 测试真空系统漏气的方法、装置、电子设备及存储介质

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