申请/专利权人：天津忠旺铝业有限公司

申请日：2024-01-22

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926149A

主分类号：C22F1/047

分类号：C22F1/047;C22C21/08;C22C1/03;C22C1/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明提供一种消除Al‑Mg‑Si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，包括：熔铸、均热、热轧、固溶、拉伸、时效处理，采用控制细化剂添加量、高温小变形量轧制和低温固溶的工艺组合，制备出一种Fe含量≤0.09wt％的Al‑Mg‑Si合金厚板，板材晶粒组织细小均匀，硬质氧化后表面无氧化花斑，颜色呈均匀黑色，同时优化了合金的延伸率和耐腐蚀性能，提高采用该种板材制备半导体零部件的使用寿命和可靠性，为半导体生产设备国产化开发提供支持。

主权项：1.一种消除Al-Mg-Si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：A、配料：配制Al-Mg-Si合金各组分原料；B、熔铸：将各组分原料加入到熔炼炉中熔炼，经搅拌、扒渣、精炼、静置、除气、过滤后铸成合金铸锭；其中细化剂Al-5Ti-1B的添加量为1.5-2.0kgt；C、均热：铸锭升温至555-575℃，保温24-28h，风冷3-6h后出炉；D、锯切铣面：对铸锭进行切头尾，并铣除表面凝壳层；E、热轧：将锯铣后的铸锭加热至540-570℃，保温5-10h，然后出炉轧制，板材终轧温度控制为490-530℃；F、固溶淬火：切除板材头尾及宽度废料后进行固溶处理，板材升温至500-530℃，保温90-120min后出炉淬火；G、拉伸：板材淬火完成后进行拉伸处理，拉伸率控制范围为1.5-2.5％；F、时效：板材随炉升温至160-180℃，保温12-14h。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津忠旺铝业有限公司 一种消除Al-Mg-Si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺

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