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【发明公布】各向异性磁阻感测结构及其传感器_郑州大学_202311796448.4 

申请/专利权人:郑州大学

申请日:2023-12-25

公开(公告)日:2024-04-26

公开(公告)号:CN117930095A

主分类号:G01R33/09

分类号:G01R33/09;G01R33/02

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要:本申请公开了一种各向异性磁阻感测结构及其传感器,旨在解决现有Z向量测磁阻元件的中点电位易受X向磁场影响从而导致测量精度较低的技术问题。其包括分别以对应的磁阻模块作为各桥臂的惠斯通电桥,所述磁阻模块包括若干对应并联或串联的感测模组,所述感测模组包括对应电连接的第一磁阻单元及第二磁阻单元,所述第一磁阻单元与第二磁阻单元的所述磁转换部分别位于其对应所述磁阻层的长轴的相异两侧;所述第一磁阻单元与第二磁阻单元的所述条形电极分别与其对应所述磁阻层的长轴所夹锐角间的角度偏差处于±5度内。本申请具有封装结构简单、测量准确度高、抗干扰性好等优点。

主权项:1.一种各向异性磁阻感测结构,其特征在于,包括分别以对应的磁阻模块作为各桥臂的惠斯通电桥,所述磁阻模块包括若干对应并联或串联的感测模组,所述感测模组包括对应电连接的第一磁阻单元及第二磁阻单元,所述磁阻单元包括长条状的磁阻层、等间距阵列于所述磁阻层顶部且与所述磁阻层的长轴方向对应呈一定夹角的若干条形电极、设于所述磁阻层的一侧且为导磁材料件的磁转换部;所述第一磁阻单元与第二磁阻单元的所述磁转换部分别位于其对应所述磁阻层的长轴的相异两侧;所述第一磁阻单元与第二磁阻单元的所述条形电极分别与其对应所述磁阻层的长轴所夹锐角间的角度偏差处于±5度内。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 郑州大学 各向异性磁阻感测结构及其传感器

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