申请/专利权人：科学普博有限公司

申请日：2022-11-28

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117927690A

主分类号：F16K3/02

分类号：F16K3/02;F16K3/30;F16K3/314;F16K3/316;F16K27/04;F16K31/122;F16K31/44

优先权：["20221024 KR 10-2022-0137336"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：公开了一种在半导体或显示器制造设施中使用的狭缝阀。狭缝阀包括：阀体，其具有限定在其中的闸门；主体，其联接到阀体的底部；设置在阀体内部的打开关闭叶片，其中打开关闭叶片垂直移动以使闸门打开或关闭；以及驱动器单元，其设置在主体内部并且联接到打开关闭叶片，其中驱动器单元在垂直方向上移动打开关闭叶片以使闸门打开或关闭，其中驱动器单元包括：致动连杆，其垂直延伸并且定位在主体的中央处，其中致动连杆能够在左方向和右方向上摆动；以及垂直可移动支架，其联接到打开关闭叶片，其中当致动连杆在左方向和右方向上摆动时，垂直可移动支架在垂直LM引导件的引导下垂直移动，使得打开关闭叶片使闸门打开或关闭。

主权项：1.一种狭缝阀，包括：阀体，所述阀体具有限定在其中的闸门；主体，所述主体联接到所述阀体的底部；打开关闭叶片，所述打开关闭叶片设置在所述阀体内部，其中，所述打开关闭叶片垂直移动以使所述阀门打开或关闭；以及驱动器单元，所述驱动器单元设置在所述主体内部并且联接到所述打开关闭叶片，其中，所述驱动器单元在垂直方向上移动所述打开关闭叶片以使所述闸门打开或关闭，其中，所述驱动器单元包括：致动连杆，所述致动连杆垂直延伸并且定位在所述主体的中央处，其中，所述致动连杆能够在左方向和右方向上摆动；以及垂直可移动支架，所述垂直可移动支架联接到所述打开关闭叶片，其中，当所述致动连杆在所述左方向和所述右方向上摆动时，所述垂直可移动支架在垂直LM线性运动引导件的引导下垂直移动，使得所述打开关闭叶片使所述闸门打开或关闭。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 科学普博有限公司 狭缝阀

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