申请/专利权人：哈尔滨工业大学

申请日：2023-08-04

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN116754565B

主分类号：G01N21/88

分类号：G01N21/88;G01N21/64;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.10.03#实质审查的生效;2023.09.15#公开

摘要：本发明一种光学元件全口径表面微缺陷光致荧光检测用自动对焦检测方法，涉及光学元件技术领域，为解决现有的对焦检测方法，需要手动对焦及检测，效率低，且无法保证检测结果的准确性和一致性的问题。包括如下步骤：一、安装物镜与待测光学元件；二、确定待检测区域内多个标定检测点坐标，构建检测物镜焦平面方程，制定检测扫描路径；三、控制元件沿检测扫描路径移动进行检测，判断待测点是否处于物镜焦平面，若是，则在该点进行扫描检测，若不是，则计算补偿量并控制移动平台在调焦方向对元件进行距离补偿；四、实时保存光谱信息及检测成像信息；五、根据检测扫描路径判断检测是否结束。实现了光学元件表面微缺陷光致荧光检测的自动对焦及检测。

主权项：1.一种光学元件全口径表面微缺陷光致荧光检测用自动对焦检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、安装物镜与待测光学元件，物镜安装在物镜架上，待测光学元件固定装夹在三维电动移动平台上；步骤二、控制移动平台归零，构建三维坐标系，确定待检测区域内多个标定检测点坐标，通过对各标定检测点进行对焦构建检测物镜焦平面方程，制定待检测区域的检测扫描路径；步骤三、控制移动平台使元件沿检测扫描路径移动进行检测，过程中判断待测点是否处于物镜焦平面，若是，则在该点进行扫描检测，若不是，则计算补偿量并控制移动平台在调焦方向对元件进行距离补偿，实现自动对焦及检测；步骤四、实时保存光谱信息及检测成像信息；步骤五、根据检测扫描路径判断检测是否结束；若未结束，执行步骤三至步骤四，至检测完成；步骤二包括如下过程：步骤二一、控制移动平台归零，以待测光学元件的几何中心点为坐标原点，建立三维坐标系，其中X轴正方向为激光光轴穿过待测元件的方向，即远离显微物镜的方向；步骤二二、采用CCD面阵相机，确定扫描区域3个不共线的检测点作为标定检测点，对各标定检测点进行对焦，对焦过程中激光光束以尽量小的光斑对元件整个检测区域进行辐照，并将此时的标定检测点的坐标分别记为P1x1，y1，z1、P2x2，y2，z2、P3x3，y3，z3，构建物镜焦平面方程为： 步骤二三、制定待检测区域的检测扫描路径。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学 一种光学元件全口径表面微缺陷光致荧光检测用自动对焦检测方法

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