申请/专利权人:株式会社爱发科
申请日:2020-09-03
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN113423858B
主分类号:C23C14/34
分类号:C23C14/34;C22C21/00;C23C14/18;C23C14/58
优先权:["20191213 JP 2019-225672"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开
摘要:提供一种低电阻且耐热性、弯曲性优异的铝合金靶材、铝合金布线膜以及铝合金布线膜的制造方法。为了达成上述目的,一方式的铝合金靶材具有由铝构成的主要成分以及添加至上述主要成分中的元素组,上述元素组由0.005at%以上且0.88%以下的铁以及0.01at%以上且0.05at%以下的钒构成。若使用这样的铝合金靶材,则可形成低电阻且耐热性、弯曲性优异的铝合金布线膜。
主权项:1.一种铝合金靶材,其特征在于,由由铝构成的主要成分、元素组以及不可避免的成分构成,其中,所述元素组添加在所述主要成分中,由0.005at%以上且0.2at%以下的铁以及0.01at%以上且0.05at%以下的钒构成。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社爱发科 铝合金靶材、铝合金布线膜以及铝合金布线膜的制造方法
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