申请/专利权人：万华化学集团股份有限公司

申请日：2022-12-22

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN115784240B

主分类号：C01B33/141

分类号：C01B33/141;C01B33/146;B82Y40/00;C09G1/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：本发明涉及一种非球形硅溶胶的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：1将硅氧烷与水混合，水解，得到水解液；2将所述水解液和母液混合，混合过程中，在体系中加入阴离子聚合物，并维持体系pH≥6，得到晶种；3将所述晶种和水解液混合，完成晶种生长，得到所述非球形硅溶胶。本发明所述的制备方法成功合成了呈花生形的颗粒的非球形硅溶胶，其中二氧化硅质量含量高，金属离子含量低，可用于半导体大硅片或晶圆的抛光，并且所述制备方法不局限于实验室小型规模制备，工艺放大后粒径和缔合度仅有较小的变化，放大效应较小，适用于规模化生产。

主权项：1.一种非球形硅溶胶的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：1将硅氧烷与水混合，水解，得到水解液；2将所述水解液和母液混合，混合过程中，在体系中加入阴离子聚合物，并维持体系pH≥6，得到晶种；3将所述晶种和水解液混合，完成晶种生长，得到所述非球形硅溶胶；所述水解液和母液混合的方式包括将水解液加入母液中；所述阴离子聚合物包括聚丙烯酸、聚4-苯乙烯磺酸或丙烯酸马来酸共聚物中的任意一种或至少两种的组合；所述阴离子聚合物的数均分子量为2000-80000gmol；以制备水解液所采用的硅氧烷的总质量为100％计，所述阴离子聚合物的添加量为50-1000ppm；步骤3中，所述混合过程中，维持体系pH为6-8.5。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 万华化学集团股份有限公司 一种非球形硅溶胶的制备方法

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