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【发明授权】聚酰亚胺正型光刻胶组合物_台湾永光化学工业股份有限公司_202010707170.9 

申请/专利权人:台湾永光化学工业股份有限公司

申请日:2020-07-21

公开(公告)日:2024-04-26

公开(公告)号:CN112859523B

主分类号:G03F7/039

分类号:G03F7/039;G03F7/008;G03F7/004

优先权:["20191112 TW 108140948"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.26#授权;2021.09.14#实质审查的生效;2021.05.28#公开

摘要:一种聚酰亚胺正型光刻胶组合物,包括:一树脂成分;一交联剂;一感光剂;以及一溶剂。其中,树脂成分包括:81wt%至99wt%的聚酰亚胺树脂;以及1wt%至19wt%的丙烯酸树脂,包括一含环氧基的单体。

主权项:1.一种聚酰亚胺正型光刻胶组合物,包括:10wt%至70wt%的树脂成分,包括:81wt%至99wt%的聚酰亚胺树脂;以及1wt%至19wt%的丙烯酸树脂,包括一含环氧基的单体;1wt%至20wt%的交联剂,为三聚氰胺类交联剂;0.05wt%至20wt%的感光剂;以及余量为溶剂;其中该聚酰亚胺树脂如下式I所示: 其中,n为3至2,000的整数,分子量介于3,000至20,000之间。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 台湾永光化学工业股份有限公司 聚酰亚胺正型光刻胶组合物

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