申请/专利权人：苏斯微技术光刻有限公司

申请日：2019-12-11

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN111312635B

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673

优先权：["20181212 NL 2022185"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2021.12.14#实质审查的生效;2020.06.19#公开

摘要：一种用于容纳堆叠在彼此之上的若干衬底32特别是晶圆的衬底盒10，该衬底盒具有包括第一侧部14和平行于第一侧部14的第二侧部16的壳体12，其中，设置有至少一个细长的第一支撑件20，用于壳体12内的侧部14、16之间的衬底32，所述支撑件20至少部分地与第一侧部14间隔开，其中第一侧部14最靠近所述至少一个第一支撑件20。

主权项：1.一种用于容纳堆叠在彼此之上的若干衬底（32）的衬底盒（10），所述衬底盒包括壳体（12），所述壳体包括第一侧部（14）和平行于所述第一侧部（14）的第二侧部（16），其中设置有细长的至少一个第一支撑件（20），用于所述壳体（12）内的侧部（14，16）之间的衬底（32），所述至少一个第一支撑件（20）至少部分地与所述第一侧部（14）间隔开，其中所述第一侧部（14）比所述第二侧部（16）更靠近所述至少一个第一支撑件（20），并且其中所述至少一个第一支撑件（20）设置在从所述至少一个第一支撑件（20）延伸到所述第一侧部（14）的支撑臂（28）上，每个第一支撑件（20）分别对应一个支撑臂（28），其中，在所述第二侧部（16）上，至少一个第二支撑件（22）定位在所述至少一个第一支撑件（20）的高度处，其中在每种情况下，由所述至少一个第一支撑件（20）和所述至少一个第二支撑件（22）中的一个限定狭槽（18），并且其中，衬底（32）位于第一支撑件（20）与第一侧部（14）之间的区域被暴露，使得位于衬底（32）的所述区域内的衬底（32）的外边缘不与第一支撑件（20）接触。

全文数据：

权利要求：

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