申请/专利权人：云南通威高纯晶硅有限公司

申请日：2023-09-06

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220852785U

主分类号：F25J3/06

分类号：F25J3/06;C01B3/50;C01B33/107;F25J5/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型提供了一种多晶硅再生氢系统，涉及多晶硅技术领域。本实用新型包括顺次连通的初冷单元、加压单元及深冷单元，收集罐与初冷单元连通，废液罐与深冷单元连通，初冷单元包括顺次连通且均与收集罐连通的一级换热器、二级换热器及三级换热器，一级换热器上设有进气管；加压单元包括与三级换热器连通的解析气压缩机；深冷单元包括连通的四级换热器与五级换热器，四级换热器及五级换热器均与废液罐连通，四级换热器与解析气压缩机连通，四级换热器上设有氢气输出管道。本实用新型先经过三级冷凝，将氢气中的大部分氯硅烷冷凝，再通过解析气压缩机加压，然后经过两级深冷将混合气体中剩余的氯硅烷冷凝下来，实现氢气与氯硅烷的高效分离。

主权项：1.一种多晶硅再生氢系统，其特征在于，包括：顺次连通的初冷单元、加压单元及深冷单元；收集罐，与初冷单元连通；废液罐，与深冷单元连通；其中，所述初冷单元包括顺次连通且均与收集罐连通的一级换热器、二级换热器及三级换热器，所述一级换热器上设有进气管；所述加压单元包括与三级换热器连通的解析气压缩机；所述深冷单元包括连通的四级换热器与五级换热器，所述四级换热器及五级换热器均与废液罐连通，所述四级换热器与解析气压缩机连通，所述四级换热器上设有氢气输出管道。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 云南通威高纯晶硅有限公司 一种多晶硅再生氢系统

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