申请/专利权人：无锡卓海科技股份有限公司

申请日：2023-10-09

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220854990U

主分类号：G01R1/073

分类号：G01R1/073;G01R27/02;G01R35/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型涉及四探针电阻测量仪设备技术领域，公开一种探针坐标系原点位置的校准系统，用于定位四探针测量仪的坐标原点。移动装置能在四探针测量仪上的基板移动；卡盘组件包括晶圆卡盘和校准件，晶圆卡盘固定在移动装置能变换在基板上位置；安装在晶圆卡盘上的校准件设有与晶圆卡盘同轴的校准孔。定位组件包括探针替换件和圆心定位件，探针替换件与探针外径相同，基板上的探针臂设有能分别拆装探针和探针替换件的探针安装组件；探针替换件中心位置设有定位通孔，圆心定位件能穿过定位通孔且选择性地置于校准孔内，此时满足晶圆卡盘的圆心与探针的中心位置重合的状态，精确校准坐标原点，测量晶圆时可极小去边，有效节约成本。

主权项：1.探针坐标系原点位置的校准系统，用于定位四探针测量仪的坐标原点，所述四探针测量仪包括基板1和探针，其特征在于，所述探针坐标系原点位置的校准系统包括：移动装置2，设置在所述基板1上，所述移动装置2能在所述基板1上沿水平方向移动；卡盘组件3，包括晶圆卡盘31和校准件32，所述晶圆卡盘31固定设置在所述移动装置2上，所述校准件32设置有校准孔321，所述校准件32与所述晶圆卡盘31远离所述移动装置2的一端连接，所述校准孔321与所述晶圆卡盘31同轴设置；探针臂4，设置在所述基板1上，所述探针臂4设置有探针安装组件41，所述探针安装组件41被配置为能可拆卸地安装所述探针；定位组件5，包括探针替换件51和圆心定位件52，所述探针替换件51可拆卸地设置在所述探针安装组件41，所述探针替换件51的外径与所述探针的外径相同，所述探针替换件51设置有定位通孔511，所述定位通孔511设置在所述探针替换件51的中心位置；所述圆心定位件52与所述定位通孔511间隙配合，所述圆心定位件52能选择性地置于所述校准孔321内。

全文数据：

权利要求：

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