申请/专利权人：株式会社岛津制作所

申请日：2023-10-25

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117954304A

主分类号：H01J49/04

分类号：H01J49/04;H01J49/10;H01J49/24;G01N27/626

优先权：["20221028 JP 2022-172967"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本发明的课题在于缩短从无气体分析向有气体分析的切换时的分析等待时间，提高分析效率。本发明的质量分析装置包括：真空室；池，配置在真空室的内部，使来源于试样的离子接触至规定气体；以及质量分析部，对从池排出的离子或来源于此的离子进行质量分析，质量分析装置包括：气体供给部，包含三通阀，三通阀使从气体供给源供给的规定气体择一性地流至将规定气体向池供给的第一流路与将规定气体向真空环境中排出的第二流路；以及控制部，控制三通阀的切换，以使得在以池中不使离子接触至规定气体的状态进行分析的期间和或不实施分析的期间，使规定气体流向第二流路，在以池中使离子接触至规定气体的状态进行分析的期间，使规定气体流至第一流路。

主权项：1.一种质量分析装置，其特征在于，包括：真空室；池，配置在所述真空室的内部，使来源于试样的离子接触至规定气体；以及质量分析部，对从所述池排出的离子或来源于此的离子进行质量分析，所述质量分析装置包括：气体供给部，包含三通阀，所述三通阀使从气体供给源供给的规定气体择一性地流至将所述规定气体向所述池供给的第一流路与将所述规定气体向真空环境中排出的第二流路；以及控制部，控制所述三通阀的切换，以使得在以所述池中不使离子接触至所述规定气体的状态进行分析的期间和或不实施分析的期间，使所述规定气体流向所述第二流路，在以所述池中使离子接触至所述规定气体的状态进行分析的期间，使所述规定气体流至所述第一流路。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社岛津制作所 质量分析装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD