申请/专利权人：浙江工业大学;衢州学院

申请日：2024-01-30

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117949812A

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28;H01L21/66;G01N23/2251

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本发明公开了电迁移测试结构、测试电路和测试方法；电迁移测试结构包括一组间隔均匀分布的测试互连线，测试互连线的两端分别设有一组互连件；两组互连件错位分布，使得各测试互连线之间呈蛇形链状连接；互连件包括设于相邻两根测试互连线端部的两个第一通孔结构和连接两个第一通孔结构的短互连线；位于链头和链尾的两个第一通孔结构作为阳极和阴极，分别通过引出互连线与电流PAD相连；每根测试互连线的两端分别设有一个第二通孔结构，第二通孔结构通过引出互连线与电压PAD相连。该电迁移测试结构仅需一个电源就可以同时对多根测试互连线进行电迁移试验，并在电迁移试验时，同时检测各测试互连线两端的电压变化，测试成本低、周期短、效率高。

主权项：1.电迁移测试结构，包括硅衬底层11和绝缘介质层12；其特征在于：所述绝缘介质层12内设有测试组件；所述测试组件包括一组间隔均匀分布的测试互连线1；所述测试互连线1的两端分别设有一组互连件；两组互连件错位分布，使得各测试互连线1之间呈蛇形链状连接；所述互连件包括设于相邻两根测试互连线1端部的两个第一通孔结构2，以及连接两个第一通孔结构2的短互连线4；位于链头和链尾的两个第一通孔结构2作为阳极和阴极，分别通过对应设置的引出互连线5与电流PAD6相连；每根测试互连线1的两端分别设有一个第二通孔结构3，第二通孔结构3通过对应设置的引出互连线5与电压PAD7相连；所述第一通孔结构2和第二通孔结构3位于测试互连线1的同一侧，且第一通孔结构2的底部与测试互连线1相连接，顶部与短互连线4相连接，第二通孔结构3的底部与测试互连线1相连接，顶部与引出互连线5相连接，从而将测试组件分为三层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江工业大学;衢州学院 电迁移测试结构、测试电路和测试方法

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