申请/专利权人：山东有研国晶辉新材料有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117942682A

主分类号：B01D46/90

分类号：B01D46/90;B01D46/56;B01D46/00;B01D46/44;B01D46/42;C23C16/30

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本申请涉及晶体材料制备领域的一种尾气过滤系统以及方法，尾气过滤系统包括：进气管道，形成有第一口和第二口；出气管道，形成有第三口和第四口；多个过滤桶，并联于所述第二口和第三口之间，每个所述过滤桶的进气端和排气端均独立的设有阀；泵，连接于所述出气管道，用于驱动尾气由所述第一口向所述第四口流动。本申请的尾气过滤系统可以保证硒化锌制备过程中沉积炉内沉积压力稳定，确保硒化锌长周期沉积，提升硒化锌的品质。

主权项：1.一种尾气过滤系统，其特征在于，包括：进气管道，形成有第一口和第二口；出气管道，形成有第三口和第四口；多个过滤桶，并联于所述第二口和第三口之间，每个所述过滤桶的进气端和排气端均独立的设有阀；泵，连接于所述出气管道，用于驱动尾气由所述第一口向所述第四口流动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东有研国晶辉新材料有限公司 尾气过滤系统以及方法

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