申请/专利权人：华为技术有限公司

申请日：2021-10-29

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117957495A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本公开涉及一种重定义版图图形的方法、装置、设备、介质和程序产品。该方法包括：确定电路版图中的版图图形对应的多个掩模图形，多个掩模图形具有不同的尺寸。该方法还包括：通过光刻成像仿真，确定基于多个掩模图形形成的多个晶圆图形的尺寸。该方法包括：针对多个晶圆图形中的每个晶圆图形，确定用于评估工艺窗口或成像质量的工艺参数的仿真值。该方法包括：至少基于工艺参数的仿真值，从多个晶圆图形的尺寸中确定目标尺寸。该方法进一步包括：将电路版图中的版图图形设置为具有目标尺寸。以此方式，可以实现更高精确度和更广覆盖程度的版图图形重定义。

主权项：一种重定义版图图形的方法，其特征在于，所述方法包括：确定电路版图中的版图图形对应的多个掩模图形，所述多个掩模图形具有不同的尺寸；通过光刻成像仿真，确定基于所述多个掩模图形在晶圆上形成的多个晶圆图形的尺寸；针对所述多个晶圆图形中的每个晶圆图形，确定用于评估工艺窗口或成像质量的工艺参数的仿真值；至少基于所述工艺参数的仿真值，从所述多个晶圆图形的尺寸中确定目标尺寸；以及将所述电路版图中的所述版图图形设置为具有所述目标尺寸。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华为技术有限公司 重定义版图图形的方法、装置、设备、介质和程序产品

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