申请/专利权人：华南理工大学;广州现代产业技术研究院

申请日：2022-05-31

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN115035056B

主分类号：G06T7/00

分类号：G06T7/00;G06T5/70;G06T7/13

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.09#公开

摘要：本发明公开了一种基于微分几何的柔性IC基板线路刻蚀缺陷检测方法及系统，该方法包括以下步骤：获取柔性IC基板图像；将图像转换为灰度图像作为处理对象；图像预处理；使用JacobEliosoff准则的摩尔邻域边界跟踪算法提取轮廓并对轮廓进行高斯平滑；使用基于欧式距离权重因子的双向差分法计算轮廓曲率，根据轮廓曲率的变化和变化的方向判断是否存在过刻蚀或欠刻蚀缺陷。本发明通过线路轮廓曲率的变化检测刻蚀缺陷，将刻蚀缺陷检测问题转化为线路轮廓提取和轮廓曲率计算问题，可用于解决柔性IC基板线路过刻蚀和欠刻蚀缺陷的检测问题。

主权项：1.一种基于微分几何的柔性IC基板线路刻蚀缺陷检测方法，其特征在于，包括下述步骤：获取柔性IC基板彩色图像；将柔性IC基板彩色图像转换到灰度空间，得到灰度图像；将灰度图像进行图像预处理，得到二值图像；采用JacobEliosoff准则的摩尔邻域边界跟踪算法提取二值图像中线路的轮廓，得到封闭的线路轮廓；将封闭的线路轮廓分段，轮廓点集坐标在x方向保持不变，在y方向上增减的作为线路轮廓的左右边缘，其余作为线路轮廓的上边缘和下边缘，剔除线路轮廓的左右边缘，保留线路轮廓的上边缘和下边缘；将分段后的轮廓进行高斯平滑，使用基于欧式距离权重因子的双向差分法计算轮廓曲率，设定曲率阈值上限和曲率阈值下限，根据轮廓曲率的变化和变化的方向判断是否存在过刻蚀或欠刻蚀缺陷；使用基于欧式距离权重因子的双向差分法计算轮廓曲率，具体步骤包括：选取多组轮廓像素点根据差分法估计轮廓像素点近似一阶导数和二阶导数；计算每一组轮廓像素点的欧式距离作为权重影响因子；根据权重影响因子和近似一阶导数和二阶导数计算轮廓像素点准确的一阶导数和二阶导数；根据准确的一阶导数和二阶导数使用曲率计算公式得到曲率，具体表示为： 其中，kxi表示曲率，f′xi表示准确的一阶导数，f″xi表示准确的二阶导数；所述选取多组轮廓像素点根据差分法估计轮廓像素点近似一阶导数和二阶导数，具体步骤包括：设P0x0，y0，P1x1，y1，P2x2，y2…Pnxn，yn为图像轮廓点集，定义点Pixi，yi的一阶前向导数为： Δxifl＝xi-xi-lΔyifl＝yi-yi-l其中，l表示用于计算一阶前向导数的点Pi-lxi-l，yi-l在X方向与当前点的距离，Δxifl表示点Pixi，yi与距离为l的点在图像X方向的一阶前向差分，Δyifl表示点Pixi，yi与距离为l的点在图像Y方向上的一阶前向差分；点Pixi，yi的一阶后向导数为： Δxibs＝xi+s-xiΔyibs＝yi+s-yi其中，s表示用于计算一阶后向导数的点Pi+sxi+s，yi+s在X方向与当前点的距离，Δxibs表示点Pixi，yi与距离为s的点在图像X方向的一阶后向差分，Δyibs表示点Pixi，yi与距离为s的点在图像Y方向上的一阶后向差分；点Pixi，yi的二阶前向导数为： Δ2xifl＝Δxi-Δxi-lΔ2yifl＝Δyi-Δyi-l其中，Δ2xifl表示点Pixi，yi在图像X方向的二阶前向差分，Δ2yifl表示点Pixi，yi在图像Y方向上的二阶前向差分；点Pixi，yi的二阶后向导数为： Δ2xibs＝Δxi+s-ΔxiΔ2yibs＝Δyi+s-Δyi其中，Δ2xibs表示点Pixi，yi在图像X方向的二阶后向差分，Δ2yibs表示点Pixi，yi在图像Y方向上的二阶后向差分。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华南理工大学;广州现代产业技术研究院 基于微分几何的柔性IC基板线路刻蚀缺陷检测方法及系统

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