申请/专利权人：艾克塞利斯科技公司

申请日：2019-08-21

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN112567492B

主分类号：H01J37/147

分类号：H01J37/147;H01J37/317;H01F3/02;H01F7/20;G21K1/093;G21K5/00

优先权：["20180821 US 16/106,745"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2021.09.03#实质审查的生效;2021.03.26#公开

摘要：扫描磁体位于离子注入系统的质量分辨磁体的下游，并且被配置为控制质量分辨磁体下游的离子束路径以用于扫描或抖动离子束。扫描磁体具有其中界定有通道的轭部。轭部是含铁的并且具有第一侧和第二侧以界定离子束的对应入口和出口。轭部具有从第一侧到第二侧所堆栈的多个层合物，其中与第一侧和第二侧相关联的多个层合物的至少一部分包括一个或多个槽口式层合物，一个或多个槽口式层合物具有界定在其中的多个槽口。

主权项：1.一种用于磁性扫描离子束的扫描磁体，所述扫描磁体包括：轭部，具有界定在其中的通道，所述轭部具有界定穿过所述通道的离子束的对应入口和出口的第一侧和第二侧，所述轭部包括从所述第一侧到所述第二侧所堆栈的多个层合物，并且其中与所述第一侧和所述第二侧相关联的多个层合物的至少一部分包括一个或多个槽口式层合物，其中所述一个或多个槽口式层合物具有朝向所述通道延伸的多个尖齿，其中多个槽口被界定在所述多个尖齿之间；扫描仪线圈，包括缠绕在所述轭部上的第一导线；以及所述扫描磁体进一步包括一个或多个衬料，其中所述一个或多个衬料位于所述通道内并且大致上将所述轭部和所述扫描仪线圈与所述离子束隔离；其中，所述一个或多个衬料进一步包括界定在其中的一个或多个衬料槽口，其中，所述一个或多个衬料槽口被进一步配置成大致上减少所述一个或多个衬料内的涡电流。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾克塞利斯科技公司 具有增进效率的扫描磁体设计

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