申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN220873521U

主分类号：H01J37/244

分类号：H01J37/244;H01J37/21;H01J37/302;H01J37/304

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权

摘要：本实用新型公开一种电子束束斑位置标定装置和电子束束斑位置调整系统，装置包括：转动架；第一探针组，设置于转动架，包括多个平行间隔排列的第一探针；第二探针组，设置于转动架，与第一探针组共面且呈角度错开布置，包括多个平行间隔排列的第二探针，通过转动架的转动使第一探针组的几何中心和第二探针组的几何中心交替地与靶材的待轰击表面的几何中心对准，且第一探针和第二探针在处于靶材位置时相互垂直，第一探针组和第二探针组用于接收电子束并产生电信号；驱动组件，用于驱动转动架转动；控制器，与第一探针和第二探针均导线连接，用于采集电信号并根据电信号确定电子束束斑在待轰击表面上的位置。提高了电子束束斑位置标定可靠性和精度。

主权项：1.一种电子束束斑位置标定装置，其特征在于，包括：转动架；第一探针组，设置于所述转动架，所述第一探针组包括多个共面且平行间隔排列的彼此绝缘的第一探针；第二探针组，设置于所述转动架，所述第二探针组与所述第一探针组共面且呈角度错开布置，所述第二探针组包括多个共面且平行间隔排列的彼此绝缘的第二探针，通过所述转动架的转动使所述第一探针组的几何中心和所述第二探针组的几何中心交替地与靶材的待轰击表面的几何中心对准，且所述第一探针和所述第二探针在处于所述靶材位置时相互垂直，所述第一探针组和所述第二探针组用于接收电子束并产生电信号；驱动组件，所述驱动组件的驱动端与所述转动架连接，用于驱动所述转动架转动；控制器，与所述第一探针和所述第二探针均导线连接，所述控制器用于分别采集所述第一探针和所述第二探针的电信号，并根据所述电信号确定电子束束斑在所述待轰击表面上的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 电子束束斑位置标定装置和电子束束斑位置调整系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD