申请/专利权人：量伙半导体设备(上海)有限公司

申请日：2023-10-10

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN220871494U

主分类号：F27D19/00

分类号：F27D19/00;F27D21/00;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权

摘要：本实用新型提供一种分立式晶圆退火炉的控制系统，包括热电偶板卡、电流检测板卡、DIDO数字点位板卡、AIAO模拟点位板卡、MTC温控板、高温计、可控硅触发器和上位机。本实用新型通过安装在退火炉内的热电偶板卡对炉内温度检测，以及高温计对炉腔内的晶圆材料的温度检测，经过交换机将检测到的温度发送到MTC温控板进行数据处理，再由MTC温控板通过控制可控硅触发器调节加热设备的功率，对退火炉内的温度以进行快速温度控制调节，电流检测板卡实时检测加热设备运行状况，DIDO数字点位和AIAO模拟点位实时对退火炉的运行状态进行控制并检测，保证了退火炉控制系统运行的安全，交换机可以让多个退火炉子板卡设备连入控制系统，上位机实现对系统的数据显示与控制。

主权项：1.一种分立式晶圆退火炉的控制系统，其特征在于，包括：热电偶板卡10，所述热电偶板卡10与交换机50电性连接，所述热电偶板卡10安装在退火炉炉壁上，热电偶板卡10探头伸入腔室内部，测量腔室内的空气环境温度，并通过交换机50发送给MTC温控板60；电流检测板卡20，所述电流检测板卡20与交换机50电性连接，安装在加热设备的电源线上，用于检测加热设备的工作的电流大小，并通过交换机50发送给MTC温控板60；DIDO数字点位30，所述DIDO数字点位30与交换机50电性连接，用于退火炉设备的开关量点位的检测与控制，并通过交换机50与MTC温控板60进行数据的发送与接收；AIAO模拟点位40，所述AIAO模拟点位40与交换机50电性连接，用于退火炉设备的开关量点位的检测与控制，并通过交换机50与MTC温控板60进行数据的发送与接收；交换机50，所述交换机50与MTC温控板60电性连接，用于MTC温控板60与热电偶板卡10、电流检测板卡20、DIDO数字点位30和AIAO模拟点位40信息交互；MTC温控板60，所述MTC温控板60的网络接口与交换机50的网络接口电性连接，用于对系统数据转发处理、温度采集、退火炉状态的检测及发送控温指令控制调节加热设备功率的输出；高温计70，所述高温计70和MTC温控板60电性连接，安装在退火炉腔室外，用于测量腔室内退火材料表面温度，并发送至MTC温控板60；可控硅触发器80，所述可控硅触发器80通过模拟量的方式和MTC温控板60电性连接，用于获取MTC温控板60的控温指令，对加热设备的功率控制；上位机90，所述上位机90安装在电气柜柜门上，与MTC温控板60电性连接，用于对晶圆退火炉的控制系统的现场设备采集上报的数据显示及用户下发温度控制指令。

全文数据：

权利要求：

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