申请/专利权人：宜宾英发德耀科技有限公司

申请日：2024-02-08

公开（公告）日：2024-05-10

公开（公告）号：CN118016765A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/66;C30B31/10;C30B29/06;C30B31/16;C30B31/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开

摘要：本发明公开了一种硼扩机装机调试方法，属于光伏电池生产领域，具体步骤为：步骤1.装机与硬件检查；步骤2.气源调试与管道压力测试；步骤3.通氧煅烧与通源饱和；步骤4.再次通氧煅烧；步骤5.调试试片表征与调整；步骤6.量产准备；确认设备参数、工艺流程以及操作规范，确保硼扩机在量产过程中的可靠性和稳定性，调试还包括：加热系统调试、控制系统调试、气体供应系统调试、气体成分检测、安全系统调试和数据记录与验证。本发明通过系统性的调试和优化，提高了硼扩机的整体性能，加强了设备的安全性和稳定性，并为后续的生产和工艺优化提供了坚实的数据基础，对硼扩散工艺的稳定生产和质量提升展现出了明显的有益效果。

主权项：1.一种硼扩机装机调试方法，其特征在于步骤包括：步骤1.装机与硬件检查：完成硼扩机的装机工作后，进行正常的梯度升温，并确保温度稳定；随后进行高温检漏和硬件检查，包括电路、传感器等关键部件，确保硼扩机没有硬件故障；步骤2.气源调试与管道压力测试：对硼扩机的气源进行初步调试，确保气源供应正常；然后进行管道压力测试，在试通BCL3的过程中，要求管道内无压力波动；如出现波动，需进行管路压力的调试，并吹扫流量计，确保稳定的气流供应；只有当管道无波动时，才能交付工艺进行进一步调试；步骤3.通氧煅烧与通源饱和：在硼扩机中通入氧气进行煅烧操作，进行两轮煅烧以清洁和活化设备；接着进行通源饱和操作，通入适量的源气体，进行六轮的饱和过程，确保硼扩机达到稳定状态；步骤4.再次通氧煅烧：在饱和完成后，再次通入氧气进行煅烧操作，进行两轮煅烧，以进一步清洁设备并准备进行下一步调试；步骤5.调试试片表征与调整：使用调试试片进行表征，检查硼扩散效果；如表征结果不符合要求NG，则需要进行调整；在调整过程中，监控温控系统的偏差、流量计波动以及其他硬件状况；步骤6.量产准备：经过以上调试步骤，确保硼扩机达到稳定工作状态后，即可进行量产准备；确认设备参数、工艺流程以及操作规范，确保硼扩机在量产过程中的可靠性和稳定性。

全文数据：

权利要求：

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