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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2022-03-16
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN114636107B
主分类号：F17D1/04
分类号：F17D1/04;F17D3/01;F17C9/02;F17C13/00;B08B9/032
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2022.07.05#实质审查的生效;2022.06.17#公开
摘要：本申请公开一种管路输送机构及其控制方法，管路输送机构包括：第一输入管路，所述第一输入管路的第一端与载气气源连通，所述第一输入管路的第二端与源瓶连通；输出管路，所述输出管路的第一端与所述源瓶连通，所述输出管路的第二端与半导体工艺腔室连通，以输送携带有气态的源料的载气至所述半导体工艺腔室；气体加热补偿结构，所述气体加热补偿结构的第一端与载气气源连通，第二端与所述输出管路连通，用于向所述输出管路补偿加热后的所述载气，以升高所述输出管路内的载气的温度。上述管路输送机构可以解决目前管路输送机构工作过程中，气态源料存在较大的冷凝风险的问题。
主权项：1.一种管路输送机构，其特征在于，包括：第一输入管路，所述第一输入管路的第一端与载气气源连通，所述第一输入管路的第二端与源瓶连通；输出管路，所述输出管路的第一端与所述源瓶连通，所述输出管路的第二端与半导体工艺腔室连通，以输送携带有气态的源料的载气至所述半导体工艺腔室；气体加热补偿结构，所述气体加热补偿结构的第一端与载气气源连通，第二端与所述输出管路连通，用于向所述输出管路补偿加热后的所述载气，以升高所述输出管路内的载气的温度；堵塞检测结构，所述堵塞检测结构包括第一吹扫管路和收集管路，所述第一吹扫管路的第一端与吹扫气源连接，所述第一吹扫管路的第二端连通于所述输出管路，所述收集管路的第一端连接于收集机构，所述收集管路的第二端连通于所述输出管路中位于所述第一吹扫管路和所述半导体工艺腔室之间的部分上；所述第一吹扫管路设有第二流量控制器，所述第二流量控制器配置为以小于其量程的预设流量工作，在所述预设流量与所述第二流量控制器的实际流量的差值大于预设差值的情况下，判定所述输出管路存在堵塞的情况。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 管路输送机构及其控制方法
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