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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2019-06-17
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN112103205B
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2021.01.05#实质审查的生效;2020.12.18#公开
摘要：本发明提供一种排气装置及工艺腔室，包括连接管路和冷却组件，其中，连接管路分别与工艺腔室的排气管路和尾气处理装置连接，用于将自排气管路排出的尾气传输至尾气处理装置中；冷却组件设置在连接管路上，用于对连接管路以及流经连接管路中的尾气进行冷却。本发明提供的排气装置及工艺腔室能够提高排气管路与尾气处理装置之间的密封稳定性，从而提高排气装置的排气稳定性。
主权项：1.一种排气装置，其特征在于，所述排气装置包括连接管路和冷却组件，其中，所述连接管路分别与工艺腔室的排气管路和尾气处理装置连接，用于将自所述排气管路排出的尾气传输至所述尾气处理装置中；所述冷却组件设置在所述连接管路上，用于对所述连接管路以及流经所述连接管路中的所述尾气进行冷却；所述冷却组件包括介质入口、介质出口和冷却套管，其中，所述冷却套管环绕套设在所述连接管路的周围，并与所述连接管路密封连接，且所述冷却套管的内周壁与所述连接管路的外周壁之间形成供冷却介质通过的冷却通道；所述介质入口设置在所述冷却套管上，并与所述冷却通道连通，用于向所述冷却通道中输送所述冷却介质；所述介质出口设置在所述冷却套管上，并与所述冷却通道连通，用于使所述冷却通道内的所述冷却介质排出；所述冷却套管延伸至所述连接管路与所述排气管路连接的一端，并在该端在所述冷却套管上设置有第一环形连接部，在所述排气管路上设置有与所述第一环形连接部相对设置且连接的第二环形连接部；在所述第一环形连接部与所述第二环形连接部之间设置有环形密封件，所述环形密封件用于对所述第一环形连接部与所述第二环形连接部之间进行密封；在所述第一环形连接部上或所述冷却套管与所述连接管路的密封连接处设置有导流孔，所述导流孔的一端与所述冷却通道连通，另一端与所述第一环形连接部与所述第二环形连接部之间连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 排气装置及工艺腔室
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