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申请/专利权人：江苏卓为工程咨询有限公司
申请日：2021-12-21
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN114279961B
主分类号：G01N21/01
分类号：G01N21/01;G01N21/88
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2022.04.22#实质审查的生效;2022.04.05#公开
摘要：本申请涉及一种硅晶板故障检测装置，涉及硅钢板检测技术的领域，其包括工业相机、照明光源和工作台，工作台上设有台座，台座上开设有气槽，台座上固定有用于将气槽槽口遮住的盖板，盖板上开设有若干与气槽连通的通孔，台座侧壁连接有进气管和抽气管，进气管和抽气管上均连接阀门，工作台上设有用于移动硅晶板的机械手，机械手终端安装有真空吸盘，工业相机架设在盖板上方，照明光源位于工业相机下方。本申请具有实现硅钢板检测自动化、提高检测精度的效果。
主权项：1.一种硅晶板故障检测装置，其特征在于：包括工业相机11、照明光源12和工作台1，所述工作台1上设有台座13，所述台座13上开设有气槽131，所述台座13上固定有用于将气槽131槽口遮住的盖板14，所述盖板14上开设有若干与气槽131连通的通孔141，所述台座13侧壁连接有进气管15和抽气管16，所述进气管15和抽气管16上均连接阀门17，所述工作台1上设有用于移动硅晶板的机械手18，所述机械手18终端安装有真空吸盘181，所述工业相机11架设在盖板14上方，所述照明光源12位于工业相机11下方，所述工作台1上设有皮带输送机2，所述工作台1上设有用于将硅晶板转移到皮带输送机2上的移料组件3，所述移料组件3包括滑轨31和滑座32，所述滑轨31设有两个且分布在皮带输送机2的两侧，所述滑座32滑动连接在两个滑轨31上，所述滑座32顶端通过铰接轴33铰接有托板34，所述托板34通过拉簧341与滑座32连接，所述铰接轴33穿出滑座32外并竖直连接有拨杆35，所述工作台1上设有支架36，所述支架36顶端设有与拨杆35下端对应的顶杆37，所述工作台1上设有伺服电缸38，且伺服电缸38的驱动杆与滑座32相连，当所述拉簧341处于自然状态时，所述托板34水平分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏卓为工程咨询有限公司 硅晶板故障检测装置
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